[发明专利]OLED触控显示屏的制作方法

说明书

本发明提供一种OLED触控显示屏的制作方法，依次在衬底基板上形成TFT层、OLED层及触控层，相对于现有技术，在制作触控层时，在沉积形成第一绝缘层之后和沉积形成桥点层之前不对第一绝缘层进行蚀刻，而在沉积形成第二绝缘层之后再通过两种蚀刻气体的配合使用来对第一绝缘层和第二绝缘层一同进行干法蚀刻，实现触控层中两种不同深度接触孔的同制程制作，有效降低了湿蚀刻制程对OLED的侵蚀，简化了生产工艺，提升了设备生产能力，同时还可以实现对源漏电极层中触控引线和绑定垫的预保护作用，避免过蚀或者氧化引起的功能失效。

技术领域

本发明涉及触控显示技术领域，尤其涉及一种OLED触控显示屏的制作方法。

背景技术

在平板显示技术中，有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)显示器具有轻薄、主动发光、响应速度快、可视角大、色域宽、亮度高和功耗低等众多优点，逐渐成为继液晶显示器后的第三代显示技术。相对于液晶显示器(Liquid crystaldisplays，LCD)，OLED具有更省电、更薄、且视角宽的优势，这是LCD无法比拟的。目前，人们对显示的细腻程度即分辨率要求越来越高，但生产高质量、高分辨率的OLED显示屏仍然面临着许多挑战。

目前比较常用的触控技术包括外挂式触控技术和内嵌式触控技术。内嵌式触控技术是指将触摸传感器集成到显示面板内部，由于内嵌式触控技术相比外挂式触控技术能够使显示装置更轻薄，因此内嵌式触控技术应于OLED显示装置更被关注；以液晶面板为例，而外挂式触控技术是将触摸屏嵌入到显示屏的彩色滤光片基板和偏光片之间的方法，即在液晶面板上配触摸传感器，相比内嵌式触控技术难度降低不少。

随着柔性显示屏OLED技术的快速发展，要求与之搭配的触摸屏同样需要具有柔性可绕折的特点，传统的触摸屏需单独制作，然后通过光学透明胶贴合在OLED的上表面形成完整的触控显示模组，增加了贴合工艺，同时也增加了整体的厚度，不利于柔性触控显示屏整体的轻薄化。

在现有的外挂式OLED触控显示屏的技术开发中，一般将触控感应器制作在OLED层之上，具体过程为：首先制作包含基板在内的TFT层，TFT层中的源漏电极(SD)层包括位于绑定区内的用于触控部分的触控引线及绑定垫，然后在TFT层上制作OLED层，最后在OLED层上制作触控层；其中，触控层包括由下至上依次设置的第一绝缘层、桥点层、第二绝缘层、电极线路层及保护层，其中，桥点层在像素区内包括多个金属桥，所述电极线路层包括触控驱动电极、触控感应电极及触控连接线，所述触控驱动电极或触控感应电极通过贯穿第二绝缘层的第一接触孔与所述金属桥连接，所述触控连接线通过贯穿第一绝缘层和第二绝缘层的第二接触孔与绑定区内的触控引线连接，那么，在进行蚀刻工艺时，由于像素区域和金属绑定区域需要蚀刻的深度不同，现有技术一般采用两道光罩分别对触控层中的第一绝缘层和第二绝缘层分别进行蚀刻工艺，以在金属桥两端的过孔和金属绑定区域形成不同深度的过孔，因此常规触控层的制作工艺至少需要5道光罩制程，但是在每道光罩制程完成后，会出现SD层中用于触控引线的部分和绑定垫被蚀刻侵蚀、然后被裸露的现象，造成SD层表面损伤或者被氧化，电性能降低甚至是失效。

另外，由于OLED的怯水性质，在OLED层上制作触控层，应避免过多地接触到湿蚀刻制程，而触控技术中的常规蚀刻工艺主要采用湿制程工艺，虽然干式制程能避免湿式接触，但也会带来其他一些技术问题，尤其是在柔性OLED之上制作触控层时，出于对结构的保护，还需要考虑工艺预保护效果。

发明内容

本发明的目的在于提供一种OLED触控显示屏的制作方法，对第一绝缘层和第二绝缘层一同进行干法蚀刻，实现两种不同深度接触孔的同制程制作，简化生产工艺，节约设备资源，同时还可以实现对源漏电极层的预保护作用，避免源漏电极层的氧化或者损伤。

为实现上述目的，本发明提供一种OLED触控显示屏的制作方法，所述OLED触控显示屏包括位于中部的像素区及位于所述像素区外侧的绑定区，该方法包括如下步骤：