[发明专利]汲取管、液体控制系统、控制方法及装置在审
| 申请号: | 201811361335.0 | 申请日: | 2018-11-15 | 
| 公开(公告)号: | CN111185853A | 公开(公告)日: | 2020-05-22 | 
| 发明(设计)人: | 古进忠;郭鸿翔 | 申请(专利权)人: | 长鑫存储技术有限公司 | 
| 主分类号: | B24B57/02 | 分类号: | B24B57/02;B24B37/005;B24B37/34;H01L21/67 | 
| 代理公司: | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人: | 袁礼君;阚梓瑄 | 
| 地址: | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码: | 安徽;34 | 
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 汲取 液体 控制系统 控制 方法 装置 | ||
1.一种汲取管,其特征在于,包括:
第一盖,所述第一盖的第一侧内表面设置有至少一电磁铁;所述第一盖的第一侧外表面还包括插管,所述插管的中心通孔与所述第一盖的中心通孔相适配;
第二盖,所述第二盖的第一侧内表面设置有至少一永久磁铁;所述第二盖的中心位置还具有插孔;
第一安装元件、第一螺母和第一供应管,分别依次设置于所述第一盖的第二侧外表面上;
第二安装元件、第二螺母和第二供应管,分别依次设置于所述第二盖的第二侧外表面上;
其中,各电磁铁与各永久磁铁的位置一一对应;所述插管和所述插孔相适配。
2.根据权利要求1所述的汲取管,其特征在于,所述第一盖还包括至少一定位插销,各定位插销至少部分凸出所述第一盖的第一侧外表面;
所述第二盖的第一侧还包括至少一定位插槽;
其中,各定位插销和各定位插槽相适配。
3.根据权利要求1所述的汲取管,其特征在于,所述第一盖内还设置有至少一接近传感器;
所述第二盖的第一侧内表面还设置有至少一金属片;
其中,各接近传感器和各金属片位置相对应。
4.根据权利要求1所述的汲取管,其特征在于,其中,
所述插管远离所述第一盖的第一侧的第一端具有第一导角;
所述插孔远离所述第二盖的第一侧的第一端具有第二导角;
所述插管靠近所述第一盖的第一侧的第二端具有第三导角;
所述插孔靠近所述第二盖的第一侧的第二端具有第四导角;
其中,所述第一导角和所述第二导角相适配;所述第三导角和所述第四导角相适配。
5.根据权利要求4所述的汲取管,其特征在于,所述第三导角远离所述第一盖的第一侧的末端具有密封环。
6.一种液体供应系统,其特征在于,包括:
液体储存装置;
如权利要求1至5中任意一项所述的汲取管。
7.根据权利要求6所述的液体供应系统,其特征在于,所述液体供应系统为研磨液供应系统,所述液体储存装置为研磨液桶。
8.一种控制方法,应用于如权利要求6或7所述的液体供应系统,其特征在于,所述方法包括:
发送第一控制信号至所述至少一电磁铁,以使各电磁铁与各永久磁铁相结合;和/或
发送第二控制信号至所述至少一电磁铁,以使各电磁铁与各永久磁铁相分离。
9.根据权利要求8所述的控制方法,其特征在于,所述第一盖内还设置有至少一接近传感器;所述第二盖的第一侧内表面还设置有至少一金属片;其中,各接近传感器和各金属片位置相对应;其中,所述方法还包括:
接收所述至少一接近传感器采集的反馈信号;
若所述反馈信号满足预设条件,则发送第三控制信号至所述液体供应系统,以使其开始供液操作。
10.一种控制装置,应用于如权利要求6或7所述的液体供应系统,其特征在于,所述装置包括:
第一控制模块,配置为发送第一控制信号至所述至少一电磁铁,以使各电磁铁与各永久磁铁相结合;和/或
第二控制模块,配置为发送第二控制信号至所述至少一电磁铁,以使各电磁铁与各永久磁铁相分离。
11.一种计算机可读存储介质,其上存储有计算机程序,所述计算机程序被处理器执行时实现权利要求8或者9中所述的控制方法。
12.一种电子设备,其特征在于,包括:
处理器;
存储器,用于存储所述处理器的可执行指令;
其中,所述处理器被配置为经由执行所述可执行指令来执行权利要求8或者9中所述的控制方法。
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