[发明专利]汲取管、液体控制系统、控制方法及装置在审

专利信息
申请号: 201811361335.0 申请日: 2018-11-15
公开(公告)号: CN111185853A 公开(公告)日: 2020-05-22
发明(设计)人: 古进忠;郭鸿翔 申请(专利权)人: 长鑫存储技术有限公司
主分类号: B24B57/02 分类号: B24B57/02;B24B37/005;B24B37/34;H01L21/67
代理公司: 北京律智知识产权代理有限公司 11438 代理人: 袁礼君;阚梓瑄
地址: 230000 安徽省合肥市*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 汲取 液体 控制系统 控制 方法 装置
【权利要求书】:

1.一种汲取管,其特征在于,包括:

第一盖,所述第一盖的第一侧内表面设置有至少一电磁铁;所述第一盖的第一侧外表面还包括插管,所述插管的中心通孔与所述第一盖的中心通孔相适配;

第二盖,所述第二盖的第一侧内表面设置有至少一永久磁铁;所述第二盖的中心位置还具有插孔;

第一安装元件、第一螺母和第一供应管,分别依次设置于所述第一盖的第二侧外表面上;

第二安装元件、第二螺母和第二供应管,分别依次设置于所述第二盖的第二侧外表面上;

其中,各电磁铁与各永久磁铁的位置一一对应;所述插管和所述插孔相适配。

2.根据权利要求1所述的汲取管,其特征在于,所述第一盖还包括至少一定位插销,各定位插销至少部分凸出所述第一盖的第一侧外表面;

所述第二盖的第一侧还包括至少一定位插槽;

其中,各定位插销和各定位插槽相适配。

3.根据权利要求1所述的汲取管,其特征在于,所述第一盖内还设置有至少一接近传感器;

所述第二盖的第一侧内表面还设置有至少一金属片;

其中,各接近传感器和各金属片位置相对应。

4.根据权利要求1所述的汲取管,其特征在于,其中,

所述插管远离所述第一盖的第一侧的第一端具有第一导角;

所述插孔远离所述第二盖的第一侧的第一端具有第二导角;

所述插管靠近所述第一盖的第一侧的第二端具有第三导角;

所述插孔靠近所述第二盖的第一侧的第二端具有第四导角;

其中,所述第一导角和所述第二导角相适配;所述第三导角和所述第四导角相适配。

5.根据权利要求4所述的汲取管,其特征在于,所述第三导角远离所述第一盖的第一侧的末端具有密封环。

6.一种液体供应系统,其特征在于,包括:

液体储存装置;

如权利要求1至5中任意一项所述的汲取管。

7.根据权利要求6所述的液体供应系统,其特征在于,所述液体供应系统为研磨液供应系统,所述液体储存装置为研磨液桶。

8.一种控制方法,应用于如权利要求6或7所述的液体供应系统,其特征在于,所述方法包括:

发送第一控制信号至所述至少一电磁铁,以使各电磁铁与各永久磁铁相结合;和/或

发送第二控制信号至所述至少一电磁铁,以使各电磁铁与各永久磁铁相分离。

9.根据权利要求8所述的控制方法,其特征在于,所述第一盖内还设置有至少一接近传感器;所述第二盖的第一侧内表面还设置有至少一金属片;其中,各接近传感器和各金属片位置相对应;其中,所述方法还包括:

接收所述至少一接近传感器采集的反馈信号;

若所述反馈信号满足预设条件,则发送第三控制信号至所述液体供应系统,以使其开始供液操作。

10.一种控制装置,应用于如权利要求6或7所述的液体供应系统,其特征在于,所述装置包括:

第一控制模块,配置为发送第一控制信号至所述至少一电磁铁,以使各电磁铁与各永久磁铁相结合;和/或

第二控制模块,配置为发送第二控制信号至所述至少一电磁铁,以使各电磁铁与各永久磁铁相分离。

11.一种计算机可读存储介质,其上存储有计算机程序,所述计算机程序被处理器执行时实现权利要求8或者9中所述的控制方法。

12.一种电子设备,其特征在于,包括:

处理器;

存储器,用于存储所述处理器的可执行指令;

其中,所述处理器被配置为经由执行所述可执行指令来执行权利要求8或者9中所述的控制方法。

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