[发明专利]芯片封装装置在审
申请号: | 201811349029.5 | 申请日: | 2018-11-13 |
公开(公告)号: | CN109326543A | 公开(公告)日: | 2019-02-12 |
发明(设计)人: | 王印玺;秦超;陶源 | 申请(专利权)人: | 江苏澳芯微电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 221300 江苏省徐州市邳州市经*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 抓取机构 安装槽 卡基 点胶机构 封装平台 芯片封装装置 运输机构 托块 芯片 等距排列 芯片放置 芯片吸附 上端 水滴 点胶 负压 封装 | ||
1.一种芯片封装装置,其特征在于,包括运输机构(1)、抓取机构(2)、封装平台(3)以及点胶机构(4),其中;
所述运输机构(1)上等距排列有多个用于放置芯片(5)的托块(11);
所述封装平台(3)上端开设有用于放置卡基(6)的卡槽;
所述点胶机构(4)适于将胶水滴落至卡基(6)上的安装槽内;
所述抓取机构(2)适于将托块(11)上的芯片(5)抓起并放置在卡基(6)上的安装槽内。
2.根据权利要求1所述的芯片封装装置,其特征在于,所述抓取机构(2)包括旋转体(21)与多个吸筒(22);
所述旋转体(21)下端固定设置,所述旋转体(21)上端转动设置有多个支杆,所述吸筒(22)安装在支杆上;
所述吸筒(22)的吸嘴朝向所述芯片(5)的上端面设置,从而用于取下所述托块(11)上的芯片(5)。
3.根据权利要求1所述的芯片封装装置,其特征在于,所述运输机构(1)包括支架(12)、驱动电机、主动滚筒(13)、从动滚筒(14)以及输送带(15);
所述主动滚筒(13)和从动滚筒(14)分别转动设置在支架(12)的左右两端,所述驱动电机的输出轴与主动滚筒(13)固定连接,并带动主动滚筒(13)转动;
所述输送带(15)套设在主动滚筒(13)和从动滚筒(14)上,所述托块(11)固定安装在输送带(15)上。
4.根据权利要求1所述的芯片封装装置,其特征在于,所述点胶机构(4)包括转动架(41)以及点胶头(42),所述转动架(41)固定设置,所述点胶头(42)转动设置在转动架(41)的上端;
所述点胶头(42)具有尖锐出胶部,所述尖锐出胶部与卡槽的底面相对垂直设置。
5.根据权利要求3所述的芯片封装装置,其特征在于,所述卡槽的深度小于所述卡基(6)的厚度,所述托块(11)的大小与所述卡基(6)相同,且所述芯片(5)放置在卡槽内时上端面的高度与芯片(5)放置在托块(11)上时上端面的高度在同一水平面上。
6.根据权利要求5所述的芯片封装装置,其特征在于,所述支杆上设有伸缩气缸(7),所述伸缩气缸(7)的推杆固定连接在吸筒(22)的上端,从而带动吸筒(22)上下运动;
所述吸筒(22)的下端开设有用于与托块(11)相配合的定位槽,所述吸嘴设置在定位槽内。
7.根据权利要求6所述的芯片封装装置,其特征在于,所述托块(11)上开设有用于放置芯片(5)的托槽,所述吸嘴朝向托槽设置。
8.根据权利要求1所述的芯片封装装置,其特征在于,所述运输机构(1)为两个,所述封装平台(3)为两个。
9.根据权利要求1所述的芯片封装装置,其特征在于,所述旋转体(21)上的支杆为四个。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造