[发明专利]废气处理系统及方法

说明书

本发明提供的一种废气处理处理系统及方法，包括相互连通的洗涤室、燃烧室及回收室，当所述燃烧室中通入设定气体时，将所述洗涤室的第一进水管道上的第一气动阀开启，所述回水管道上的第三气动阀关闭，通过所述第一进水管道向所述洗涤室中通入第二设定流量的洗涤水；当未通入设定气体时，所述第一气动阀关闭，所述第三气动阀开启，且所述回收室中的回收水通过所述第一回水管道重新流入所述洗涤室中循环利用，在通入和未通入设定气体时，采用不同的用水模式，在保证废气处理效果的情况下还能节约用水，降低了设备的运转成本。

技术领域

本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种废气处理系统及方法。

背景技术

在半导体工艺制程中，扩散炉管设备是非常常见的一种设备，主要用于扩散、氧化、退火及合金工艺，同时还适用于对材料的特殊温度处理。扩散炉管设备在工作过程中会产生废气，这些废气若不经处理直接排放，会对空气和环境造成极大的污染，所以通常扩散炉管设备都会连接一个废气处理系统，为了有效的处理废气，现有的废气处理系统用水量都非常大，设备的运转成本很高。

发明内容

本发明的目的在于提供一种废气处理系统及方法，以降低废气处理系统的用水量。

为了达到上述目的，本发明提供了一种废气处理系统，包括洗涤室、燃烧室及回收室，所述洗涤室及所述燃烧室均与所述回收室连通；

所述洗涤室具有第一进水管道，用于接收洗涤水并将所述洗涤水通入至所述洗涤室中，并且所述第一进水管道上设置有第一气动阀；

所述回收室具有第二进水管道，用于接收洗涤水并将所述洗涤水通入至所述回收室中，并且所述第二进水管道上设置有第二气动阀，并且所述回收室和所述洗涤室之间还通过一第一回水管道连通，所述第一回水管道上设置有第三气动阀；

所述第二气动阀间隔一设定时间开启，以通过所述第二进水管道向所述回收室通入第一设定流量的洗涤水，当所述燃烧室中通入有设定气体时，所述第一气动阀开启，所述第三气动阀关闭，以通过所述第一进水管道向所述洗涤室中通入第二设定流量的洗涤水，所述第一设定流量小于所述第二设定流量；当所述燃烧室中未通入所述设定气体时，所述第一气动阀关闭，所述第三气动阀开启，并使所述回收室中的回收水通过所述第一回水管道重新流入所述洗涤室中。

可选的，所述燃烧室包括依次连通的燃烧腔、水幕腔及冷却腔，所述水幕腔位于所述燃烧腔与所述冷却腔之间，所述设定气体在所述燃烧腔中燃烧后流入所述水幕腔，经所述水幕腔隔离后流入所述冷却腔中冷却后流入所述回收室中。

可选的，所述废气处理系统还包括第二回水管道，所述第二回水管道连通所述回收室及所述燃烧室，通过所述第二回水管道将所述回收室中的回收水重新流入所述水幕腔及所述冷却腔中。

可选的，所述回收室还具有一出水管道及设置于所述出水管道上的第四气动阀，当所述回收室中的回收水的水位达到一设定高度时，所述第四气动阀开启，通过所述出水管道将所述回收室中的回收水排出。

可选的，所述第一进水管道及所述第二进水管道上还分别设置有第一流量调节器及第二流量调节器，以调节所述第一进水管道或所述第二进水管道内的洗涤水流量。

可选的，所述第一设定流量小于等于4升/分钟，所述第二设定流量大于等于12升/分钟。

可选的，所述设定气体为酸性气体。

本发明还提供了一种废气处理方法，包括：

提供所述废气处理系统；