[发明专利]废气处理系统及方法在审
申请号: | 201811340431.7 | 申请日: | 2018-11-12 |
公开(公告)号: | CN111167266A | 公开(公告)日: | 2020-05-19 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 长鑫存储技术有限公司 |
主分类号: | B01D53/18 | 分类号: | B01D53/18;F23G7/06 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 智云 |
地址: | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 废气 处理 系统 方法 | ||
1.一种废气处理系统,其特征在于,包括洗涤室、燃烧室及回收室,所述洗涤室及所述燃烧室均与所述回收室连通;
所述洗涤室具有第一进水管道,用于接收洗涤水并将所述洗涤水通入至所述洗涤室中,并且所述第一进水管道上设置有第一气动阀;
所述回收室具有第二进水管道,用于接收洗涤水并将所述洗涤水通入至所述回收室中,并且所述第二进水管道上设置有第二气动阀,并且所述回收室和所述洗涤室之间还通过一第一回水管道连通,所述第一回水管道上设置有第三气动阀;
所述第二气动阀间隔一设定时间开启,以通过所述第二进水管道向所述回收室通入第一设定流量的洗涤水,当所述燃烧室中通入有设定气体时,所述第一气动阀开启,所述第三气动阀关闭,以通过所述第一进水管道向所述洗涤室中通入第二设定流量的洗涤水,所述第一设定流量小于所述第二设定流量;当所述燃烧室中未通入所述设定气体时,所述第一气动阀关闭,所述第三气动阀开启,并使所述回收室中的回收水通过所述第一回水管道重新流入所述洗涤室中。
2.如权利要求1所述的废气处理系统,其特征在于,所述燃烧室包括依次连通的燃烧腔、水幕腔及冷却腔,所述水幕腔位于所述燃烧腔与所述冷却腔之间,所述设定气体在所述燃烧腔中燃烧后流入所述水幕腔,经所述水幕腔隔离后流入所述冷却腔中冷却后流入所述回收室中。
3.如权利要求2所述的废气处理系统,其特征在于,所述废气处理系统还包括第二回水管道,所述第二回水管道连通所述回收室及所述燃烧室,通过所述第二回水管道将所述回收室中的回收水重新流入所述水幕腔及所述冷却腔中。
4.如权利要求1所述的废气处理系统,其特征在于,所述回收室还具有一出水管道及设置于所述出水管道上的第四气动阀,当所述回收室中的回收水的水位达到一设定高度时,所述第四气动阀开启,通过所述出水管道将所述回收室中的回收水排出。
5.如权利要求1所述的废气处理系统,其特征在于,所述第一进水管道及所述第二进水管道上还分别设置有第一流量调节器及第二流量调节器,以调节所述第一进水管道或所述第二进水管道内的洗涤水流量。
6.如权利要求5所述的废气处理系统,其特征在于,所述第一设定流量小于等于4升/分钟,所述第二设定流量大于等于12升/分钟。
7.如权利要求1-6中任一项所述的废气处理系统,其特征在于,所述设定气体为酸性气体。
8.一种废气处理方法,其特征在于,包括:
提供如权利要求1-7中任一项所述的废气处理系统;
所述第二气动阀间隔一设定时间开启,以通过所述第二进水管道向所述回收室通入第一设定流量的洗涤水;当所述燃烧室中通入有设定气体时,所述第一气动阀开启,所述第三气动阀关闭,以通过所述第一进水管道向所述洗涤室中通入第二设定流量的洗涤水,所述第一设定流量小于所述第二设定流量;当所述燃烧室中未通入所述设定气体时,所述第一气动阀关闭,所述第三气动阀开启,并使所述回收室中的回收水通过所述第一回水管道重新流入所述洗涤室中。
9.如权利要求8所述的废气处理方法,其特征在于,所述燃烧室的进气口连接一扩散炉管设备,所述扩散炉管设备中产生的所述设定气体通过所述进气口流入所述废气处理系统中。
10.如权利要求9所述的废气处理方法,其特征在于,所述扩散炉管设备向所述废气处理系统发送控制信号,以控制所述第一气动阀及所述第三气动阀的开启和关闭。
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