[发明专利]设置有隔音装置的真空泵系统

说明书

本发明公开一种设置有隔音装置的真空泵系统。真空泵系统(100)包括真空泵(10)并设置有隔音装置(40、50、60)。本发明的真空泵系统包括真空泵(10)和隔音罩(50)，真空泵容纳在泵外壳中，隔音罩围绕所述泵外壳并且设置有罩空气入口(52)和罩空气出口(54)。为了改善对由真空泵系统产生的噪音的抑制，一个或多个附加隔音屏蔽元件分别设置在罩空气入口与泵外壳空气入口之间和/或罩空气出口与泵外壳空气出口之间。在本发明的优选实施例中，所述一个或多个附加隔音屏蔽元件设计为壳体(40)，壳体围绕所述泵外壳并且设置有壳体空气入口(46)和壳体空气出口(48)。

技术领域

本发明涉及真空泵系统，其包括真空泵并设置有隔音装置。更具体地，本发明涉及真空泵系统，其包括旋转叶片真空泵并设置有隔音装置。

背景技术

真空泵用于广泛的应用中，以获得从粗真空条件(即约10^-1Pa)到非常高的真空条件(即约10^-8Pa)的低于大气压的条件。

更具体地，旋转叶片真空泵是机械泵，即正排量泵，其通常用于获得从大气压至约10^-1Pa的压力范围内的低真空条件。

根据现有技术，旋转叶片真空泵通常包括泵外壳，该泵外壳具有吸气口和排气口并且容纳限定圆柱形腔室的定子；圆柱形转子偏心地布置在定子室内，该转子配备有弹簧加载的径向叶片，该径向叶片与定子室的壁配合，以用于将气体从吸气口泵送到排气口。泵外壳填充有油，使得定子浸入油浴中，该油浴具有冷却和润滑泵并使泵与外部环境隔离的功能。

这种泵例如从US 6,019,585和GB 2151091A中已知。

仍然根据现有技术，驱动马达(即电动马达)通过轴连接可操作地连接到泵，以便驱动泵转子的旋转轴旋转。驱动马达通常布置在泵外壳外部并且通过接口凸缘连接到泵外壳。

设置一个或多个鼓风机或风扇以用于冷却旋转叶片真空泵，并且特别地，用于将泵外壳中的真空泵油浴的油的温度保持在预定温度阈值以下。

上述真空泵系统产生相当大的噪音，这使得其附近的工作条件不舒适，并且在实验室环境中被认为是严重的缺点。

包括具有移动部件(例如，通常用于获得高真空条件的涡轮分子泵)其他类型的真空泵和/或包括具有移动部件的泵附件的真空泵系统也产生噪音，这在一些应用中可表示显著的缺点。

真空泵系统产生的噪音随着真空泵的泵送速度的增加而增加。

因此，用于减少由真空泵系统产生的噪音的可能的解决方案是以低速运行真空泵。

然而，这种解决方案并不吸引人，因为它会对真空泵系统的性能产生负面影响。

为了在高速运行真空泵的同时抑制由真空泵系统产生的噪音，建议为真空泵系统提供包围真空泵及其驱动马达的壳体。

US 5,145,335公开了一种真空泵系统，其包括旋转叶片真空泵，该真空泵包括第一外壳、驱动马达和第二外壳，第一外壳接收泵定子和泵转子并填充有油，驱动马达与真空泵相联，第二外壳围绕第一外壳和驱动马达。

这种第二外壳的存在允许部分地减少由真空泵及其驱动马达传递到周围环境的噪音。

然而，同样考虑到需要为第二外壳提供空气入口和空气出口以允许空气流在第二外壳内流动以冷却真空泵和驱动马达，因此一些噪音在任何情况下都转移到周围环境。

结果，通过US 5,145,335中公开的解决方案获得的噪音抑制效果已经证明不足以用于某些应用(例如，所谓的“静音实验室”)，其中，在真空泵系统周围的环境中需要低于55dB并且优选低于50dB的噪音。

还应考虑隔音装置的存在会导致真空泵冷却的显著恶化。