[发明专利]设置有隔音装置的真空泵系统

权利要求书

1.一种真空泵系统(100)，其包括：

-真空泵(10)，其容纳在泵外壳(12)中；

-隔音罩(50)，其围绕所述泵外壳(12)并且设置有罩空气入口(52)和罩空气出口(54)，所述罩空气入口与泵外壳空气入口连通，所述罩空气出口与泵外壳空气出口连通，其特征在于，一个或多个附加隔音屏蔽元件设置在所述罩体空气入口(52)与所述泵外壳空气入口之间和/或所述罩空气出口(54)与所述泵外壳空气出口之间。

2.根据权利要求1所述的真空泵系统(100)，其中，所述附加隔音屏蔽元件设计为壳体(40)，所述壳体围绕所述泵外壳(12)并且设置有壳体空气入口(46)和壳体空气出口(48)。

3.根据权利要求1或2所述的真空泵系统(100)，其中，所述隔音罩(50)包括顶部(50a)和周壁(50b)，所述周壁由多个侧壁形成并且完全围绕所述泵外壳(12)。

4.根据权利要求3所述的真空泵系统(100)，其中，所述罩空气入口(52)在所述周壁的下缘上方一定高度处设置在所述隔音罩的所述周壁(50b)的第一侧壁(50b’)中，并且所述罩空气出口(54)靠近所述周壁的所述下缘设置在所述隔音罩的所述周壁(50b)的第二相对侧壁(50b”)中。

5.根据权利要求2所述的真空泵系统(100)，其中，所述壳体(40)具有顶壁(40a)、周壁(40b)和底壁(40c)，所述周壁(40b)由多个侧壁形成并且完全围绕所述泵外壳和驱动马达。

6.根据权利要求5所述的真空泵系统(100)，其中，所述壳体空气入口(46)设置在形成所述壳体的所述周壁(40b)的所述侧壁的一者(40b’)中，并且所述壳体空气出口(48)设置在所述壳体的所述底壁(40c)中。

7.根据权利要求4和6所述的真空泵系统(100)，其中，所述隔音罩(50)相对于所述壳体(40)布置为使得所述隔音罩的所述周壁(50b)的设置有所述罩空气入口(52)的所述第一侧壁(50b’)与所述壳体的所述周壁(40b)的设置有所述壳体空气入口(46)的所述侧壁(40b’)相对设置。

8.根据权利要求6所述的真空泵系统(100)，其中，所述真空泵系统(100)还包括隔音托盘(60)，所述隔音托盘在所述壳体空气出口(48)处布置在所述壳体的所述底壁(40c)的下方。

9.根据权利要求2所述的真空泵系统(100)，其中，所述隔音罩(50)设置有隔板(56)，所述隔板从所述隔音罩(50)的内壁延伸到下面的所述壳体(40)的外壁并且将布置所述罩空气出口(54)和所述壳体空气出口(48)的空间与布置所述罩空气入口(52)和所述壳体空气入口(46)的空间分开。

10.根据权利要求9所述的真空泵系统(100)，其中，所述隔板(56)形成为周边框架，所述周边框架在所述罩空气入口(52)下方和所述罩空气出口(54)上方的高度处沿所述隔音罩的所述周壁(50b)的内侧延伸，并且延伸到所述壳体(40)的外壁。

11.根据前述权利要求中任一项所述的真空泵系统(100)，其中，所述隔音罩(50)和/或所述一个或多个附加隔音屏蔽元件具有包括由隔音材料制成的两层或更多层的多层结构。

12.根据权利要求11所述的真空泵系统(100)，其中，所述隔音罩(50)和/或所述一个或多个附加隔音屏蔽元件具有由吸音材料制成的第一内层(50’)和由声绝缘材料制成的第二外层(50”)。

13.根据前述权利要求中任一项所述的真空泵系统(100)，其中，所述真空泵系统还包括用于驱动所述真空泵的驱动马达(20)和/或用于冷却所述真空泵的冷却风扇(30)。