[发明专利]一种电致发光器件的膜层分析方法有效
| 申请号: | 201811308434.2 | 申请日: | 2018-11-05 |
| 公开(公告)号: | CN109374724B | 公开(公告)日: | 2020-06-09 |
| 发明(设计)人: | 刘莹;彭于航;杜聪聪;范磊;范春芳;吴启;薛孝忠;秦浩然 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号: | G01N27/62 | 分类号: | G01N27/62;H01L51/50 |
| 代理公司: | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人: | 杨广宇 |
| 地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 电致发光 器件 分析 方法 | ||
本发明公开了一种电致发光器件的膜层分析方法,其中,电致发光器件包括:依次层叠的阳极层、电致发光材料层、以及含银阴极层。该膜层分析方法包括:提供具有离子溅射源和气体团簇离子源的质谱仪;利用离子溅射源从电致发光器件上剥离含银阴极层,得到暴露有电致发光材料层的分析样品;利用气体团簇离子源对暴露的电致发光材料层进行分析。通过离子溅射源对含银阴极层进行溅射剥离,其剥离过程稳定可控,能够有效且彻底地去除含银阴极层,避免了对电致发光材料层进行剥离。采用气体团簇离子源对暴露的电致发光材料层进行分析,不仅能够获得电致发光材料层的各膜层成分及位置,且不会对电致发光材料层造成损伤。
技术领域
本发明涉及有机分析领域,特别涉及一种电致发光器件的膜层分析方法。
背景技术
电致发光器件,因其主动发光、可视范围广、响应快等优点,被广泛应用。电致发光器件包括:依次层叠的阳极层、电致发光材料层、阴极层。其中,电致发光材料层可以为多种类型,例如可以包括:沿阳极层至阴极层方向,依次层叠的空穴传输层、有机发光层、电子传输层等。
电致发光材料层对电致发光器件的发光性能有直接影响,所以,目前多采用质谱仪对电致发光器件中电致发光材料层的各膜层进行成分分析。由于阴极层多含银元素,银的特征离子峰会对电致发光材料层中各成分的特征离子峰造成干扰,所以在分析之前需要用刀片或胶粘带剥离阴极层。
通过刀片或胶粘带剥离阴极层时,易发生阴极层剥离不彻底或者部分剥离电致发光材料层。
发明内容
鉴于此,本发明提供一种电致发光器件的膜层分析方法,可解决上述技术问题。具体而言,包括以下的技术方案:
一种电致发光器件的膜层分析方法,所述电致发光器件包括:依次层叠的阳极层、电致发光材料层、以及含银阴极层,所述膜层分析方法包括:提供具有离子溅射源和气体团簇离子源的质谱仪;
利用所述离子溅射源从所述电致发光器件上剥离所述含银阴极层,得到暴露有电致发光材料层的分析样品;
利用所述气体团簇离子源对暴露的所述电致发光材料层进行分析。
在一种可能的实现方式中,所述离子溅射源为氧气源。
在一种可能的实现方式中,所述气体团簇离子源为氩离子团簇源。
在一种可能的实现方式中,所述质谱仪为飞行时间二次离子质谱仪。
在一种可能的实现方式中,在利用所述离子溅射源从所述电致发光器件上剥离所述含银阴极层的同时,通过所述飞行时间二次离子质谱仪提供信号强度-剥离时间曲线图;
通过所述信号强度-剥离时间曲线图,确定所述含银阴极层的剥离时间。
在一种可能的实现方式中,所述含银阴极层的成分为Mg-Ag-Yb;
所述通过所述信号强度-剥离时间曲线图,确定所述含银阴极层的剥离时间,包括:
根据所述信号强度-剥离时间曲线图,确定Ag元素的离子峰;
根据所述Ag元素的离子峰,确定所述含银阴极层的剥离时间。
在一种可能的实现方式中,所述分析方法还包括:
根据所述信号强度-剥离时间曲线图,确定Yb元素的离子峰;
根据所述Yb元素的离子峰,确定所述含银阴极层已完成剥离。
在一种可能的实现方式中,在利用所述离子溅射源从所述电致发光器件上剥离所述含银阴极层的同时,通过所述飞行时间二次离子质谱仪提供用于表征剥离过程的3D渲染图,通过所述3D渲染图确定所述含银阴极层的剥离时间。
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