[发明专利]一种便于维护的基座

说明书

本发明提供一种便于维护的基座，应用于半导体加工设备的工艺腔体中，其中，基座设置有长方体的凹陷，凹陷底部设置有截面为圆形的安装通孔，还包括轮挡和固定螺栓；轮挡形状适配凹陷，并被设置于凹陷中；轮档设置有台阶孔，轮档设置于凹陷中时台阶孔的位置与安装通孔对应；固定螺栓，穿过台阶孔伸入安装通孔中，并于设置于安装通孔中的螺母连接固定；固定螺栓和轮挡之间设有缓冲装置。本发明的有益效果在于无需拆卸整个基座，使固定螺钉和缓冲装置的更换更加简单有效，提高了机台的运行时间和运行效果。

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种便于维护的基座。

背景技术

目前化学法钨沉积机台(Lam WCD机台)的每个工艺腔体有4个基座。然而工艺腔体内的制程处于高温且含氟化物的工作环境中，这种工作环境会导致基座上固定轮挡的陶瓷螺钉和弹性垫圈容易损坏，主要指陶瓷螺钉的顶部容易断裂，从而需要对陶瓷螺钉和弹性垫圈进行更换。

如图1所示，现有技术中基座1内包括陶瓷螺钉6，而且陶瓷螺钉6为实心设计，陶瓷螺钉6与基座1之间设有螺帽3，螺帽3上方设有缓冲装置5，即缓冲装置5位于基座1的安装通孔内，较难拆卸。当陶瓷螺钉6或缓冲装置5损坏需要更换时，因为陶瓷螺钉6较难拆卸和缓冲装置5安装在螺帽3上方，所以需要将整个基座1进行拆卸才能进一步进行更换陶瓷螺钉6或缓冲装置5的操作，更换完之后还要重新安装整个基座1，耗时耗力，极大程度的影响机台的运行时间和运行效果。

发明内容

针对现有技术中存在的上述问题，现提供一种便于维护的基座旨在无需拆卸整个基座，使固定螺钉和缓冲装置的更换更加简单有效，提高了机台的运行时间和运行效果。

具体技术方案如下：

一种便于维护的基座，应用于半导体加工设备的工艺腔体中，其中，基座设置有长方体的凹陷，凹陷底部设置有截面为圆形的安装通孔，还包括轮挡和固定螺栓；

轮挡形状适配凹陷，并被设置于凹陷中；

轮档设置有台阶孔，轮档设置于凹陷中时台阶孔的位置与安装通孔对应；

固定螺栓，穿过台阶孔伸入安装通孔中，并于设置于安装通孔中的螺母连接固定；

固定螺栓和轮挡之间设有缓冲装置。

优选的，便于维护的基座，其中，固定螺栓为中空结构，中空结构中设置有用以连接紧固工具的内花键。

优选的，便于维护的基座，其中，内花键为内六角。

优选的，便于维护的基座，其中，安装通孔的下半部分设有用于安装螺母的凹槽。

优选的，便于维护的基座，其中，安装通孔的直径小于凹槽的长度。

优选的，便于维护的基座，其中，安装通孔和台阶孔的中心位置与基座的中心位置处于同一直线上。

优选的，便于维护的基座，其中，缓冲装置为弹簧垫圈。

优选的，便于维护的基座，其中，缓冲装置可装卸地设置在固定螺栓和轮挡之间。

上述技术方案具有如下优点或有益效果：无需拆卸整个基座，使固定螺钉和缓冲装置的更换更加简单有效，提高了机台的运行时间和运行效果。

附图说明

参考所附附图，以更加充分的描述本发明的实施例。然而，所附附图仅用于说明和阐述，并不构成对本发明范围的限制。

图1为本发明现有技术中基座的结构示意图；

图2为本发明一种便于维护的基座的结构示意图；

图3为本发明一种便于维护的基座的俯视图。