[发明专利]一种便于维护的基座在审
| 申请号： | 201811302696.8 | 申请日： | 2018-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN109326552A | 公开（公告）日： | 2019-02-12 |
| 发明（设计）人： | 朱亮;柳小敏;陈伟 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/687 | 分类号： | H01L21/687 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 凹陷 安装通孔 固定螺栓 台阶孔 轮挡 缓冲装置 轮档 半导体加工设备 机台 工艺腔体 固定螺钉 螺母连接 形状适配 运行效果 拆卸 伸入 穿过 维护 应用 | ||
【权利要求书】：
1.一种便于维护的基座，应用于半导体加工设备的工艺腔体中，其特征在于，所述基座设置有一长方体的凹陷，所述凹陷底部设置有一截面为圆形的安装通孔，还包括一轮挡和一固定螺栓；
所述轮挡形状适配所述凹陷，并被设置于所述凹陷中；
所述轮档设置有台阶孔，所述轮档设置于所述凹陷中时所述台阶孔的位置与所述安装通孔对应；
所述固定螺栓，穿过所述台阶孔伸入所述安装通孔中，并于设置于所述安装通孔中的一螺母连接固定；
所述固定螺栓和所述轮挡之间设有一缓冲装置。
2.如权利要求1所述的便于维护的基座，其特征在于，所述固定螺栓为中空结构，所述中空结构中设置有用以连接紧固工具的内花键。
3.如权利要求2所述的便于维护的基座，其特征在于，所述内花键为内六角。
4.如权利要求1所述的便于维护的基座，其特征在于，所述安装通孔的下半部分设有用于安装所述螺母的凹槽。
5.如权利要求1所述的便于维护的基座，其特征在于，所述安装通孔的直径小于所述凹槽的长度。
6.如权利要求1所述的便于维护的基座，其特征在于，所述安装通孔和所述台阶孔的中心位置与所述基座的中心位置处于同一直线上。
7.如权利要求1所述的便于维护的基座，其特征在于，所述缓冲装置为弹簧垫圈。
8.如权利要求1所述的便于维护的基座，其特征在于，所述缓冲装置可装卸地设置在所述固定螺栓和所述轮挡之间。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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