[发明专利]一种张网设备的结构设计及使用方法

说明书

本发明涉及制造装备，特别涉及一种张网设备的结构设计及使用方法。本发明中张网设备包括夹爪系统、测量系统、焊接系统、运动系统、预对准台、掩膜框架平台、减振平台、搬运系统和控制单元，夹爪系统包括夹爪平台，以及位于夹爪平台上的多组夹爪主体、夹爪头、滑块、稳定机构和吸附底座。本发明还提供了使用张网设备进行张网的使用方法。本发明提供的张网设备利用夹爪系统中的稳定机构和吸附底座间的相互作用，可以消除张网制程中夹持机构的位移和旋转，进而提高张网精度，提升张网效率和良率。

技术领域

本发明涉及制造装备，特别涉及一种用于对金属掩膜版进行张网、焊接的张网设备的结构设计及其使用方法。

背景技术

有机发光二极管(OLED，Organic Light Emitting Diode)是一种应用在平板显示领域的新技术，近年来获得飞速发展并成功量产。相比于传统的液晶显示面板，OLED显示面板因具有自发光、结构简单、广视角、广色域、高对比度、低功耗、快响应、可实现柔性显示等诸多优点，备受市场青睐。

OLED发光器件的制备过程中，需将多种有机材料和无机材料经真空蒸镀制程在玻璃基板上成膜。为了形成具有特定图案阵列的膜层，该制程中需要使用金属掩膜版，包括普通金属掩膜版(CMM, Common Metal Mask)和精细金属掩膜版(FMM, Fine Metal Mask)，掩膜版通常固定在金属掩膜框架上并放置于蒸镀机内部使用。在蒸镀制程前，金属掩膜版网版需要在张网机中经夹持、拉伸、量测、调整直到满足规格后与掩膜版框架经焊接结合，即张网制程。由于张网后的金属掩膜版是后续的蒸镀制程的核心治具之一，因此存在不断提升张网制程良率和效率的动力。现有技术中，夹持机构在夹持金属掩膜版后移动至张网工位的过程以及拉伸金属掩膜版的过程中，均有可能造成夹持机构自身的旋转，与金属掩膜版形成一个微小的夹角；且各夹持机构的旋转角度各不相同。这会有两个不利影响：首先会使夹持机构对金属掩膜版施加拉力的方向产生变化，进而使金属掩膜版上出现褶皱，影响张网制程的良率；另外，还会使对金属掩膜版施加拉力的大小与实际不同，会导致张网过程的不可控，进而影响到张网制程的效率。

发明内容

本发明提供一种用于对金属掩膜版进行张网并焊接到掩膜框架上的张网设备，所述张网设备包括夹爪系统，所述夹爪系统包括夹爪平台，以及位于夹爪平台上的多组夹爪主体、夹爪头、滑块、稳定机构和吸附底座；

测量系统，所述测量系统测量夹爪的位置及金属掩膜版的张网情况；

焊接系统，所述焊接系统用于将金属掩膜版焊接到掩膜框架上；

运动系统，所述运动系统对夹爪系统、焊接系统和测量系统进行精确定位和控制；

预对准台，所述预对准台用于承载金属掩膜版并进行粗对准；

掩膜框架平台，所述掩膜框架平台承载所述掩膜框架并使其精确定位；

减振平台，所述减振平台承载夹爪系统、测量系统、焊接系统、运动系统和掩膜框架平台并减小由张网焊接系统内部或外界带来的振动；

搬运系统，所述搬运系统用于对金属掩膜版和掩膜框架的搬入和搬出；

控制单元，所述控制单元用于控制所述张网设备的张网过程。

可选地，所述稳定机构设置在夹爪主体下方，位于滑块两侧，所述吸附底座安装在所述夹爪平台上，位于所述稳定机构的下方，所述稳定机构与所述吸附底座间的吸引力控制所述夹爪主体与夹爪平台间的相对稳定。

可选地，所述稳定机构为电磁控制机构，所述吸附底座为由铁磁材料或亚铁磁材料构成的块材。

可选地，所述电磁控制机构包括外壳、电磁线圈和软铁芯，所述电磁线圈环绕所述软铁芯，所述电磁线圈可通电流以产生磁场。

可选地，所述稳定机构为由铁磁材料或亚铁磁材料构成的块材，所述吸附底座为电磁控制机构。