[发明专利]一种张网设备的结构设计及使用方法

权利要求书

1.一种对金属掩膜版进行张网并焊接到掩膜框架上的张网设备，其特征在于，所述张网设备包括夹爪系统，所述夹爪系统包括夹爪平台，以及位于夹爪平台上的多组夹爪主体、夹爪头、滑块、稳定机构和吸附底座；

测量系统，所述测量系统测量夹爪的位置及金属掩膜版的张网情况；

焊接系统，所述焊接系统用于将金属掩膜版焊接到掩膜框架上；

运动系统，所述运动系统对夹爪系统、焊接系统和测量系统进行精确定位和控制；

预对准台，所述预对准台用于承载金属掩膜版并进行粗对准；

掩膜框架平台，所述掩膜框架平台承载所述掩膜框架并使其精确定位；

减振平台，所述减振平台承载夹爪系统、测量系统、焊接系统、运动系统和掩膜框架平台并减小由张网焊接系统内部或外界带来的振动；

搬运系统，所述搬运系统用于对金属掩膜版和掩膜框架的搬入和搬出；

控制单元，所述控制单元用于控制所述张网设备的张网过程。

2.如权利要求1所述的张网设备，其特征在于，所述稳定机构设置在夹爪主体下方，位于滑块两侧，所述吸附底座安装在所述夹爪平台上，位于所述稳定机构的下方，所述稳定机构与所述吸附底座间的吸引力控制所述夹爪主体与夹爪平台间的相对稳定。

3.如权利要求2所述的张网设备，其特征在于，所述稳定机构为电磁控制机构，所述吸附底座为由铁磁材料或亚铁磁材料构成的块材。

4.如权利要求3所述的张网设备，其特征在于，所述电磁控制机构包括外壳、电磁线圈和软铁芯，所述电磁线圈环绕所述软铁芯，所述电磁线圈可通电流以产生磁场。

5.如权利要求2所述的张网设备，其特征在于，所述稳定机构为由铁磁材料或亚铁磁材料构成的块材，所述吸附底座为电磁控制机构。

6.如权利要求5所述的张网设备，其特征在于，所述电磁控制机构包括外壳、电磁线圈组和软铁芯组，所述电磁线圈组包括多个线圈并可通电流以产生磁场，所述软铁芯组包括多个软铁芯，所述多个软铁芯分别位于所述多个线圈的中心。

7.如权利要求6所述的电磁控制机构，其特征在于，所述多个电磁线圈上可分别控制，可在其中的一个或多个电磁线圈上通电流以产生磁场。

8.如权利要求2所述的张网设备，其特征在于，所述稳定机构和所述吸附底座间无接触，所述稳定机构和所述吸附底座间的间距不大于500微米且不小于10微米。

9.如权利要求1所述的张网设备，其特征在于，所述夹爪主体设有定位标记，定位标记位于夹爪主体的前端和后端，所述测量系统可精确测得所述定位标记的位置。

10.如权利要求1所述的张网设备的使用方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤一：所述搬运系统将金属掩膜框架搬运到所述掩膜框架平台上，并将金属掩膜版搬运到所述预对准台上并进行预对准；

步骤二：所述夹爪平台移动至所述预对准台两侧，所述各夹爪移动至合适位置，所述夹爪头部夹持金属掩膜版并施加一定拉力，随后所述平爪平台移动至张网工位；

步骤三：所述各夹爪在所述夹爪平台上微调到合适位置；

步骤四：所述测量系统抓取所述对位标记，确认所述各夹爪的位置和平行度是否达到规格，如果否则回到步骤三，如果是则所述电磁线圈通电产生磁场，所述稳定机构和所述吸附底座间相互吸附；

步骤五：所述测量系统再次检测所述各夹爪的位置是否达到规格，如果未达到规格则首先关闭所述电磁线圈，并给出电机需补偿的位移量，电机根据该位移量进行补偿，再开启所述电磁线圈；

步骤六：开始张网工序，对金属掩膜版进行对位、量测、焊接；

步骤七：关闭所述电磁底座，判定是否完成全部张网，如果未完成全部张网则搬运系统搬入新的金属掩膜版并回到步骤二，如果已完成全部张网则进入下一步；

步骤八：所述搬运系统将张网完成后的掩膜框架搬出。