[发明专利]一种制备多晶硅薄膜的装置和方法

权利要求书

1.一种制备多晶硅薄膜的装置，包括放置架（1）、偏移杆（5）、支撑底座（14）和支撑柱（16），所述放置架（1）上侧设有准分子激光器激发出位置固定的脉冲激光束，其特征在于，所述放置架（1）上设有贯通槽（2），所述贯通槽（2）内滑动连接滑板（23），所述滑板（23）固定连接液压伸缩杆（3），液压伸缩杆（3）连接伺服油缸（4）的输出端，液压伸缩杆（3）上设有位移传感器一（31），伺服油缸（4）固定安装在放置架（1）上，滑板（23）之间设有导向杆（26）和丝杆（24），所述导向杆（26）固定连接滑板（23），丝杆（24）通过轴承转动连接滑板（23），且贯穿滑板（23），所述丝杆（24）通过联轴器连接变频电机（22）的输出端，所述变频电机（22）固定连接滑板（23），所述导向杆（26）滑动连接放置板（25）下端面固定连接的安装耳（28），安装耳（28）对称设置，另一侧的安装耳（28）螺纹连接丝杆（24），所述放置板（25）的两端设有滑动槽，所述滑动槽内滑动连接L型固定板（27），所述L型固定板（27）固定连接拉伸弹簧（29），拉伸弹簧（29）另一端固定连接滑动槽的内壁，所述放置架（1）下端面铰接偏移杆（5），偏移杆（5）下端面铰接滑块一（9），滑块一（9）螺纹连接设有反向螺纹的螺纹杆一（10），螺纹杆一（10）的两端通过轴承转动连接固定板（11），且贯穿固定板（11），固定板（11）固定连接支撑底座（14），螺纹杆一（10）的右端面固定连接把手一（12），所述螺纹杆一的左侧固定安装锥齿轮二（20），所述锥齿轮二（20）啮合连接锥齿轮一（19），所述锥齿轮一（19）固定安装在传动轴上，锥齿轮一（19）以传动轴的中心为中心前后对称设置，所述传动轴通过轴承转动连接L型安装板（18），且贯穿L型安装板（18），所述L型安装板（18）固定连接固定板（11），后侧设有的锥齿轮一（19）啮合连接锥齿轮三，所述锥齿轮三固定安装在螺纹杆三上，所述螺纹杆三和螺纹杆一前后对称设置，且安装方式相同。

2.根据权利要求1所述的一种制备多晶硅薄膜的装置，其特征在于，所述放置架（1）上固定安装控制面板（21），所述控制面板（21）设有触摸显示屏，所述控制面板（21）通过导线电性连接伺服油缸（4）、变频电机（22）、位移传感器一（31）和位移传感器二，所述伺服油缸（4）通过导线电性连接位移传感器一（31），所述变频电机（22）通过导线电性连接位移传感器二，位移传感器二安装在放置板（25）下侧。

3.根据权利要求1所述的一种制备多晶硅薄膜的装置，其特征在于，所述放置架（1）下端面固定安装滑动柱（6），所述滑动柱（6）下端面固定连接滑块四，所述滑块四滑动连接中空的固定柱（8）内壁设有的竖直滑槽，所述竖直滑槽的长度小于固定柱（8）的长度，所述固定柱（8）固定连接支撑底座（14），所述固定柱（8）侧壁螺纹连接紧定螺栓（7）。

4.根据权利要求1所述的一种制备多晶硅薄膜的装置，其特征在于，所述支撑底座（14）为中空结构，支撑底座（14）内设有螺纹杆二（32），所述螺纹杆二（32）通过轴承转动连接支撑底座（14），且贯穿支撑底座（14），所述螺纹杆二（32）固定连接把手二（13），所述螺纹杆二（32）的两端设有反向螺纹，所述螺纹杆二（32）的两端分别螺纹连接滑块二（34），滑块二（34）两端侧壁固定安装连接杆（36），连接杆（36）分别固定连接倾斜块二（35），所述倾斜块二（35）通过滑块五滑动连接支撑底座（14）顶部设有的滑槽一，所述倾斜块二（35）贴合滑动连接倾斜块一（33），所述倾斜块一（33）固定连接车轮杆（37），所述车轮杆（37）延伸出支撑底座（14），且延伸至支撑柱（16）内，所述车轮杆（37）下端面固定连接车轮板（39），所述车轮板（39）侧壁固定连接滑块六，滑块六滑动连接中空的支撑柱（16）内壁设有的竖直滑槽二，车轮杆（37）外套接弹簧（38），所述弹簧（38）的两端面固定连接车轮板（39）和支撑柱（16）内壁，所述车轮板（39）下端面安装有行走轮（40），所述支撑柱（16）和支撑底座（14）之间设有U型钢板（15），U型钢板（15）对称设置，对称设置的U型钢板（15）上下端面分别固定连接支撑底座（14）和支撑柱（16）。