[发明专利]一种用于水平液相外延生长的石墨舟

说明书

本发明公开了一种用于水平液相外延生长的石墨舟，包括舟底座、设于舟底座内的舟滑块、以及与舟底座相连的舟盖板，所述舟底座底部于左右两侧设有供机械手取放的取放部，两所述取放部之间设有支撑部，所述支撑部下方设有舟托板，所述舟托板顶部设有下凹槽，所述支撑部底部设有上凹槽，所述下凹槽与所述上凹槽配合形成内控热耦放置孔。本发明具有结构简单、使用方便、避免对拉杆和内控热耦反复操作、有利于降低内控热耦和拉杆损坏风险等优点。

技术领域

本发明涉及水平液相外延设备，尤其涉及一种用于水平液相外延生长的石墨舟。

背景技术

碲镉汞外延薄膜材料是制备红外焦平面器件的关键材料，在多个领域有着重要的应用背景。液相外延生长技术是目前最为成熟的一种碲镉汞薄膜生长技术。水平液相外延设备中，石墨舟用于提供外延片的生长场所，是液相外延的核心。目前所使用的石墨舟，通常需要设置通孔用于布置内控热偶以便测试石墨舟温度和石英拉杆安装结构以便石墨舟随石英拉杆进出工艺设备。生产过程中，石墨舟需要经常装卸，而石墨舟在装卸过程中，需要手动将内控热偶和拉杆取出，操作起来不方便，且容易导致内控热偶损坏和石英拉杆断裂。

发明内容

本发明要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种结构简单、使用方便、有利于降低内控热耦损坏风险的用于水平外延生长的石墨舟。

为解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案：

一种用于水平液相外延生长的石墨舟，包括舟底座、设于舟底座内的舟滑块、以及与舟底座相连的舟盖板，所述舟底座底部于左右两侧设有供机械手取放的取放部，两所述取放部之间设有支撑部，所述支撑部下方设有舟托板，所述舟托板顶部设有下凹槽，所述支撑部底部设有上凹槽，所述下凹槽与所述上凹槽配合形成内控热耦放置孔。

作为上述技术方案的进一步改进：所述舟托板底部设有与所述内控热耦放置孔连通的第一通道。

作为上述技术方案的进一步改进：所述支撑部与所述舟托板之间设有用于防止两者左右相对移动的定位结构。

作为上述技术方案的进一步改进：所述定位结构包括设于所述支撑部上的下凸部以及设于所述舟托板顶部的下凹部，所述下凸部定位于所述下凹部内。

作为上述技术方案的进一步改进：所述下凹槽位于所述舟托板左右方向的中心，所述上凹槽位于所述舟底座左右方向的中心。

作为上述技术方案的进一步改进：所述舟滑块用来与拉杆相连的一端设有拉杆定位孔，所述拉杆定位孔的左侧或右侧设有用于拉杆进出所述拉杆定位孔的第二通道。

作为上述技术方案的进一步改进：所述拉杆定位孔为腰型孔。

作为上述技术方案的进一步改进：所述舟底座与所述舟盖板通过紧固件相连。

与现有技术相比，本发明的优点在于：本发明公开的用于水平液相外延生长的石墨舟，在舟底座下方中间部分设置舟托板，舟托板顶部设置有下凹槽、舟底座底部设有上凹槽、且上凹槽和下凹槽配合形成用于放置内控热耦的孔，使用时将内控热耦放置于内控热耦放置孔内，石墨舟装卸过程中，可以避免对内控热耦的反复操作，使用非常方便，也降低了内控热耦损坏的风险；舟底座左右两侧可作为取放部，以便于机械手可以通过取放部将石墨舟整体托起。

附图说明

图1是本发明用于水平液相外延生长的石墨舟的主视结构示意图。

图2是本发明用于水平液相外延生长的石墨舟的俯视结构示意图。

图3是图1中的A-A视图。

图中各标号表示：1、舟底座；11、取放部；12、支撑部；13、上凹槽；14、下凸部；2、舟滑块；21、拉杆定位孔；22、第二通道；3、舟盖板；4、舟托板；41、下凹槽；42、第一通道；43、下凹部；5、机械手；6、内控热耦放置孔；7、拉杆；8、紧固件。