[发明专利]一种用于水平液相外延生长的石墨舟有效
| 申请号： | 201811287220.1 | 申请日： | 2018-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN111118597B | 公开（公告）日： | 2022-03-29 |
| 发明（设计）人： | 邸拴虎;袁卫华;魏唯;罗才旺;罗臻 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | C30B19/06 | 分类号： | C30B19/06 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人： | 周长清;徐好 |
| 地址： | 410111 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 水平 外延 生长 石墨 | ||
1.一种用于水平液相外延生长的石墨舟，包括舟底座(1)、设于舟底座(1)内的舟滑块(2)、以及与舟底座(1)相连的舟盖板(3)，其特征在于：所述舟底座(1)底部于左右两侧设有供机械手(5)取放的取放部(11)，两所述取放部(11)之间设有支撑部(12)，所述支撑部(12)下方设有舟托板(4)，所述舟托板(4)顶部设有下凹槽(41)，所述支撑部(12)底部设有上凹槽(13)，所述下凹槽(41)与所述上凹槽(13)配合形成内控热耦放置孔(6)。
2.根据权利要求1所述的用于水平液相外延生长的石墨舟，其特征在于：所述舟托板(4)底部设有与所述内控热耦放置孔(6)连通的第一通道(42)。
3.根据权利要求1所述的用于水平液相外延生长的石墨舟，其特征在于：所述支撑部(12)与所述舟托板(4)之间设有用于防止两者左右相对移动的定位结构。
4.根据权利要求3所述的用于水平液相外延生长的石墨舟，其特征在于：所述定位结构包括设于所述支撑部(12)上的下凸部(14)以及设于所述舟托板(4)顶部的下凹部(43)，所述下凸部(14)定位于所述下凹部(43)内。
5.根据权利要求1所述的用于水平液相外延生长的石墨舟，其特征在于：所述下凹槽(41)位于所述舟托板(4)左右方向的中心，所述上凹槽(13)位于所述舟底座(1)左右方向的中心。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的用于水平液相外延生长的石墨舟，其特征在于：所述舟滑块(2)用来与拉杆(7)相连的一端设有拉杆定位孔(21)，所述拉杆定位孔(21)的左侧或右侧设有用于拉杆(7)进出所述拉杆定位孔(21)的第二通道(22)。
7.根据权利要求6所述的用于水平液相外延生长的石墨舟，其特征在于：所述拉杆定位孔(21)为腰型孔。
8.根据权利要求1至5中任一项所述的用于水平液相外延生长的石墨舟，其特征在于：所述舟底座(1)与所述舟盖板(3)通过紧固件(8)相连。
9.根据权利要求6所述的用于水平液相外延生长的石墨舟，其特征在于：所述舟底座(1)与所述舟盖板(3)通过紧固件(8)相连。
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