[发明专利]半导体芯片用粘结蜡清洗剂在审
申请号: | 201811283171.4 | 申请日: | 2018-10-31 |
公开(公告)号: | CN109679790A | 公开(公告)日: | 2019-04-26 |
发明(设计)人: | 杨同勇;李文瀚;刘佳;由奉先;高阳;那久智 | 申请(专利权)人: | 三达奥克化学股份有限公司 |
主分类号: | C11D7/60 | 分类号: | C11D7/60;C11D7/26;C11D7/24;C11D7/50 |
代理公司: | 大连非凡专利事务所 21220 | 代理人: | 闪红霞 |
地址: | 116000 辽宁省大连*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 碳氢溶剂 粘结蜡 半导体芯片 清洗剂 二丙二醇二甲醚 化学品清洗 清洗工艺 清洗设备 完全溶解 芯片表面 无腐蚀 污垢 备份 配合 | ||
【权利要求书】:
1.一种半导体芯片用粘结蜡清洗剂,其特征在于所用原料及质量百分比如下:C8碳氢溶剂或C9碳氢溶剂5%~10%,C10碳氢溶剂、C11碳氢溶剂或C12碳氢溶剂50%~70%,C13碳氢溶剂或C14碳氢溶剂5%~10%,二丙二醇二甲醚20%~30%。
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