[发明专利]一种半干法处理塑胶直接电镀真空镀膜系统

权利要求书

1.一种半干法处理塑胶直接电镀真空镀膜系统，包括进料真空腔体(1)，辉光改性真空腔体(2)，硬质Cr镀层打底真空腔体(3)，Cr至合金镀层镀膜真空腔体(4)，合金镀层镀膜真空腔体(5)和出料腔体(6)；

其特征在于，通过按续连接所述真空腔体(1)，辉光改性真空腔体(2)，硬质Cr镀层打底真空腔体(3)，Cr至合金镀层镀膜真空腔体(4)，合金镀层镀膜真空腔体(5)和出料腔体(6)形成该半干法处理塑胶直接电镀真空镀膜系统。

2.根据权利要求1所述的半干法处理塑胶直接电镀真空镀膜系统，其特征在于，所述进料真空腔体(1)通过抽真空隔绝大气与辉光改性真空腔体(2)，达到更纯净的辉光气体组分，提高结合力及其均匀性；

所述辉光改性真空腔体(2)通过2500V/50％高频交流辉光电源将氧气起辉，实现塑胶件表面改性；

所述硬质Cr镀层打底真空腔体(3)使用60KW、40KHz中频溅射电源，在基材表面形成打底Cr层使得该Cr层膜厚为0.1-0.2μm；

在所述Cr至合金镀层镀膜真空腔体(4)中使用30KW直流溅射电源，在Cr层表面形成过渡层，该过渡层的膜厚为0.1-0.2μm；

所述合金镀层镀膜真空腔体(5)使用30KW直流溅射电源，在过渡层表面形成纯净合金层，该合金层厚度为0.1-0.2μm；

所述出料腔体(6)过抽真空隔绝大气与所述合金镀层镀膜真空腔体(5)，达到更纯净的溅射气体组分，提高结合力及其均匀性。

3.根据权利要求1所述的半干法处理塑胶直接电镀真空镀膜系统，其特征在于，所述进料真空腔体(1)的工作过程为：步骤一为抽真空到5.0E-3Pa；步骤二为充带过滤的大气150s。

4.根据权利要求1所述的半干法处理塑胶直接电镀真空镀膜系统，其特征在于，所述辉光改性真空腔体(2)的工作过程为：步骤一为恢复真空，气压为2.0E-3Pa，过程时间为30s；步骤二为辉光准备，充入气体比例为Ar:O₂＝1:3，压强为3～5Pa,过程时间为15s；步骤三为辉光改性，充入气体比例为Ar:O₂＝1:3,压强为3～5Pa,15s,附加电压2500V/50％,过程时间为300s；步骤四为结尾保护，充入气体比例为Ar:O₂＝1:3,压强为3～5Pa,过程时间为10s。

5.根据权利要求1所述的半干法处理塑胶直接电镀真空镀膜系统，其特征在于，所述硬质Cr镀层打底真空腔体(3)工作过程为：步骤一为恢复真空，气压为2.0E-3Pa，过程时间为30s；步骤二为预通气，调节Ar压强至3.5E-1～5.5E-1Pa,过程时间为15s；步骤三为进行Cr打底，膜层厚度≥100nm，Ar压强为3.5E-1～5.5E-1Pa,功率为40KW，频率为40KHz,过程时间为330s；步骤四为结尾保护，Ar压强为3.5E-1～5.5E-1Pa。

6.根据权利要求1所述的半干法处理塑胶直接电镀真空镀膜系统，其特征在于，所述Cr至合金镀层镀膜真空腔体(4)工作过程为：步骤一恢复真空，气压为2.0E-3Pa，过程时间为30s；步骤二为预通气，调节Ar压强至3.5E-1～5.5E-1Pa,过程时间为15s；步骤三为镀合金过渡层，膜层厚度≥100nm，Ar压强为3.5E-1～5.5E-1Pa,Cr:首先将40Kw递减至10Kw,镀上合金:将功率由10Kw递增至30Kw,过程时间为330s；步骤四为结尾保护，Ar压强为3.5E-1～5.5E-1Pa。

7.根据权利要求1所述的半干法处理塑胶直接电镀真空镀膜系统，其特征在于，所述合金镀层镀膜真空腔体5工作过程为步骤一恢复真空，气压为2.0E-3Pa，过程时间为30s；步骤二为预通气，调节Ar压强至3.5E-1～5.5E-1Pa,过程时间为15s；步骤三为镀合金纯净层，膜层厚度≥100nm，Ar压强为3.5E-1～5.5E-1Pa,功率为30Kw,过程时间为330s；步骤四为结尾保护，Ar压强为3.5E-1～5.5E-1Pa。