[发明专利]柔性显示屏的制造方法

说明书

本公开涉及一种柔性显示屏的制造方法。该方法包括：在半导体衬底的一面依次生成N型半导体层、量子阱层和P型半导体层，N型半导体层、量子阱层和P型半导体层构成功能层；对功能层进行刻蚀，形成P型电极区域和N型电极区域；在P型电极区域的对应位置生成P型透明电极，在N型电极区域的对应位置生成N型金属电极，形成多个发光器件；将多个发光器件刻蚀分离为多个独立发光器件；对多个独立发光器件进行互联；将互联后的多个独立发光器件转印至柔性衬底；去除半导体衬底，形成柔性显示屏。本公开的方法所生产的柔性显示屏的厚度薄、柔性高、化学性能稳定、机械性强、分辨率高、出光效率高、适用范围广，能够满足用户的使用需求。

技术领域

本公开涉及半导体技术领域，尤其涉及一种柔性显示屏的制造方法。

背景技术

柔性屏幕，亦称OLED，具有低功耗、可弯曲的特性。随着可穿戴设备的发展，柔性屏幕凭借其体积轻薄、功耗低、柔韧性好，耐用程度高、意外损伤低等优点，逐渐进入大众视野。随着科技的不断发展，对柔性屏幕厚度、柔性等需求的不断提高，但相关技术中所生产的柔性屏幕的厚度和柔性难以满足现有使用需求。因此，如何提供一种厚度和柔性能够满足使用需求的柔性显示屏是亟待解决的问题。

发明内容

有鉴于此，本公开提出了一种柔性显示屏的制造方法。

根据本公开的一方面，提供了一种柔性显示屏的制造方法，所述方法包括：

在半导体衬底的一面依次生成N型半导体层、量子阱层和P型半导体层，所述N型半导体层、所述量子阱层和所述P型半导体层构成功能层；

对所述功能层进行刻蚀，形成P型电极区域和N型电极区域；

对所述P型电极区域的对应位置生成P型透明电极，在所述N型电极区域的对应位置生成N型金属电极，形成多个发光器件；

将所述多个发光器件刻蚀分离为多个独立发光器件；

对所述多个独立发光器件进行互联；

将互联后的多个独立发光器件转印至柔性衬底；

去除所述半导体衬底，形成所述柔性显示屏。

对于上述方法，在一种可能的实现方式中，对所述功能层进行刻蚀，形成P型电极区域和N型电极区域，包括：

在所述功能层上生成第一掩膜保护层；

将第一掩膜版图形转移到所述第一掩膜保护层上，暴露出待刻蚀的第一区域；

对所述第一区域进行刻蚀，去除所述第一区域的功能层中的P型半导体层，量子阱层和第一厚度的N型半导体层，形成N型电极区域；

去除所述第一掩膜保护层，

其中，所述功能层上除所述N型电极区域之外的区域为P型电极区域，所述第一厚度为0.3μm～1.2μm。

对于上述方法，在一种可能的实现方式中，在所述P型电极区域的对应位置生成P型透明电极，在所述N型电极区域的对应位置生成N型金属电极，形成多个发光器件，包括：

以第二掩膜版为掩膜，在所述P型电极区域上制备P型透明电极图形；

采用物理气相沉积的方式，在所述P型透明电极图形上生成P型透明电极；

以第三掩膜版为掩膜，在所述N型电极区域上制备N型金属电极图形；

在所述N型金属电极图形上生成N型金属电极，形成多个发光器件。

对于上述方法，在一种可能的实现方式中，采用物理气象沉积的方式，在所述P型透明电极图形上生成P型透明电极之后，还包括：