[发明专利]多晶硅生产炉体防压差密封塞

说明书

本发明的多晶硅生产炉体防压差密封塞，封堵塞具有位于下部的圆柱形塞体，和位于上部的直径大于塞体的塞帽，塞体中部设置有环形凹槽，环形凹槽内卡装有密封圈，塞体靠近下端的部分为倒置锥台形，锥台最大直径大于多晶硅生产炉体上通孔直径构成限位台阶，锥台由内部盲孔侧壁上多条狭长开口槽分隔为具有弹性的爪形膨胀套结构，能够挤压收缩塞入多晶硅生产炉体上通孔内，锥台由通孔另一侧伸出后回弹膨胀，塞帽、锥台同时从通孔两侧限位封堵，不会脱落；塞体因可移动行程小，即使内外压差产生变化，各密封配合面也不会摩擦损伤，防止因两侧压差变化造成密封失效，安装、拆卸操作方便快捷，能够重复利用，提高效率，降低成本。

技术领域

本发明涉及多晶硅生产炉体的一种防压差密封塞。

背景技术

随着新能源行业的兴起，市场对多晶硅产品的需求越来越大，而且对多晶硅的纯度也提出了很高的要求，尤其是应用于电子级行业的多晶硅，对纯度的要求更高；相应的对用于制造多晶硅产品的生产设备的洁净度也提出了很高的要求，电子级多晶硅评价炉在万级洁净室内制造组装为整体结构，设备制造完成后，为保证设备内部的洁净要求，必须对设备内部进行密封性检验，最终发货时需要充入高纯氮气对内部保护，保证设备内部的干燥和洁净。

设备制作完成后，还需要经过气压试验，密封性试验，充氮保护等工序，在进行密封性检验时，采用氦气检漏的方法，且要求泄漏率≤1.0x10-11Pa.m3/s，要求高，为保证检验效果，还需要对设备内部抽真空，再充入氦气检验，整个设备内部的压力变化为：正压→负压→正压的过程，且设备的上有多个直通孔，无法使用法兰盲板或其他结构封闭。

多晶硅生产设备中的炉体通常设置有若干通孔，炉体设备在生产、包装、运输等过程中对炉体内部具有洁净度要求，不能进入灰尘，一般采用在炉体内部填充高纯惰性气体的方式来保持炉体内部清洁，填充高纯惰性气体时需封堵通孔，以保持炉体内部干燥度和洁净度，传统封堵通孔的塞子不能同时从通孔内外两个方向封堵，只能从通孔一侧塞入，通孔另一侧压力较大时塞子易被反冲脱落，抽真空时塞子也易被吸入炉体内部，并且通孔长度较大时塞子即使不脱落也会频繁地前后移动，造成摩擦损耗，影响使用寿命。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是，提供一种从通孔两侧同时封堵，防止因两侧压差变化造成密封失效，安装、拆卸操作方便快捷，能够重复利用，提高效率，降低成本的多晶硅生产炉体防压差密封塞。

本发明的多晶硅生产炉体防压差密封塞，其特征在于：包括能够塞入多晶硅生产炉体上通孔内的封堵塞，封堵塞具有位于下部的圆柱形塞体，和位于上部的直径大于塞体的塞帽，塞体中部设置有环形凹槽，环形凹槽内卡装有密封圈，塞体靠近下端的部分为倒置锥台形，锥台最大直径大于多晶硅生产炉体上通孔直径构成限位台阶，锥台内部设置有同轴盲孔，盲孔侧壁上设置有若干内外贯通的狭长开口槽，使得锥台构成具有弹性的膨胀套结构；

所述锥台内部的盲孔为第一螺纹盲孔，盲孔内部通过螺纹配合连接有加强芯；

所述塞帽顶面设置有第二螺纹盲孔，第二螺纹盲孔内部设置有提升螺杆；

所述锥台根部设置有一段圆柱段，圆柱段直径与锥台最大直径一致；

所述塞体中部设置有多道环形凹槽，每道环形凹槽内分别设置有密封圈；

所述塞体下端锥台内部盲孔的侧壁上设置有至少四条内外贯通的狭长开口槽，使得锥台分隔为四瓣开花爪形，构成具有弹性的四爪膨胀套结构；

所述塞体下端锥台内部盲孔的深度大于狭长开口槽长度，狭长开口槽长度大于锥台高度与圆柱段高度之和；

所述塞帽下端面至限位台阶上端面距离大于多晶硅生产炉体上通孔高度；

所述塞帽下端面至限位台阶上端面距离比多晶硅生产炉体上通孔高度大1～2mm；

所述密封圈为标准O型圈。