[发明专利]蒸镀掩模和蒸镀掩模的制造方法

说明书

本发明提供蒸镀掩模和蒸镀掩模的制造方法，抑制发生贯通孔的位置偏移。蒸镀掩模具有：有效部，在该有效部上设置有多个贯通孔；以及外框部，其包围有效部。有效部包含：外周区域，其与外框部接触；以及中央区域，其被外周区域包围，具有比外周区域大的厚度。

技术领域

本发明的实施方式涉及蒸镀掩模和蒸镀掩模的制造方法。

背景技术

近年来，对于在智能手机或平板电脑等可移动设备中使用的显示装置，要求高精细化，例如要求像素密度为400ppi以上。另外，在可移动设备中，应对超高清(UHD)的需求也在提高，在这种情况下，要求显示装置的像素密度为例如800ppi以上。

在显示装置中，由于响应性良好、功耗低且对比度高，因此，有机EL显示装置也正在受到关注。作为形成有机EL显示装置的像素的方法，公知有如下的方法：使用形成有以所期望的图案排列的贯通孔的蒸镀掩模，以所期望的图案形成像素。具体而言，首先，将蒸镀掩模配置成与有机EL显示装置用的基板对置，接下来，将蒸镀掩模和基板一起放入蒸镀装置中，进行使有机材料蒸镀到基板上的蒸镀工序。

作为蒸镀掩模的制造方法，例如像专利文献1所公开的那样公知有利用镀敷处理来制造蒸镀掩模的方法。在例如专利文献1所记载的方法中，首先，准备具有导电性的母模板。接下来，在母模板上以空出规定的间隙的方式形成抗蚀剂图案。该抗蚀剂图案设置在蒸镀掩模的应该形成有贯通孔的位置。然后，向抗蚀剂图案的间隙提供镀敷液，通过电解镀敷处理而在母模板上析出金属层。然后，通过使金属层从母模板分离，能够获得形成有多个贯通孔的蒸镀掩模。

专利文献1：日本特开2001-234385号公报

蒸镀掩模具有设置有多个贯通孔的有效部和包围有效部的外框部。外框部是用于支承有效部的部分，具有比有效部高的刚性。例如，在外框部上不设置贯通孔。或者，贯通孔在外框部中的分布密度比贯通孔在有效部中的分布密度低。

可是，会在通过镀敷处理而制作出的蒸镀掩模的金属层上产生起因于镀敷的内部应力。由于像上述那样在有效部上设置有比外框部多的贯通孔，因此在有效部产生的内部应力比在外框部产生的内部应力小，有效部从外框部受到拉伸力。在该情况下，考虑到由拉伸力的偏差等而导致发生贯通孔的位置位移。

发明内容

本发明的实施方式的目的在于提供一种能够有效地解决这样的课题的蒸镀掩模及其制造方法。

本发明的一个实施方式是一种蒸镀掩模，其中，该蒸镀掩模具有：有效部，在该有效部上设置有多个贯通孔；以及外框部，其包围所述有效部，所述有效部包含：外周区域，其与所述外框部接触；以及中央区域，其被所述外周区域包围，具有比所述外周区域大的厚度。

可以是，在本发明的一个实施方式的蒸镀掩模中，在将所述有效部沿着第一方向和与所述第一方向垂直的第二方向分别三等分而将所述有效部假想地分割成九个区域的情况下，与所述外框部接触的八个区域构成所述外周区域，中央的一个区域构成所述中央区域。

在本发明的一个实施方式的蒸镀掩模中，在用T1表示所述外周区域的厚度的平均值、用σ1表示所述外周区域的厚度的标准偏差、用T2表示所述中央区域的厚度的平均值的情况下，优选以下的关系式成立，

T1＜T2

3σ1＜T2/2。

可以是，在本发明的一个实施方式的蒸镀掩模中，所述外周区域的厚度的平均值T1和标准偏差σ1是通过在构成所述外周区域的八个区域的每一个区域中的九处测定厚度而计算出的，所述中央区域的厚度的平均值T2是通过在构成所述中央区域的一个区域的九处测定厚度而计算出的。