[发明专利]蒸镀掩模和蒸镀掩模的制造方法

权利要求书

1.一种蒸镀掩模，其中，

该蒸镀掩模具有：

沿所述蒸镀掩模所延伸的第一方向排列的多个有效部，在该有效部上设置有多个贯通孔；以及

外框部，其包围所述有效部，

所述有效部包含：

外周区域，其与所述外框部接触；以及

中央区域，其被所述外周区域包围，具有比所述外周区域大的厚度，

在将所述有效部沿着第一方向和与所述第一方向垂直的第二方向分别三等分而将所述有效部假想地分割成九个区域的情况下，与所述外框部接触的八个区域构成所述外周区域，中央的一个区域构成所述中央区域，

在构成所述中央区域的一个区域的多处测定出的厚度t2均比在构成所述外周区域的八个区域的每一个区域的多处测定出的厚度t1大，

所述蒸镀掩模包含镀敷层，

在用T1表示所述外周区域的厚度的平均值、用σ1表示所述外周区域的厚度的标准偏差、用T2表示所述中央区域的厚度的平均值的情况下，以下的关系式成立，

T1＜T2

3σ1＜T2/2。

2.根据权利要求1所述的蒸镀掩模，其中，

所述外周区域的厚度的平均值T1和标准偏差σ1是通过在构成所述外周区域的八个区域的每一个区域中的九处测定厚度而计算出的，

所述中央区域的厚度的平均值T2是通过在构成所述中央区域的一个区域的九处测定厚度而计算出的。

3.根据权利要求1或2所述的蒸镀掩模，其中，

所述蒸镀掩模包含位于穿过所述贯通孔的蒸镀材料所附着的基板的一侧的第一面和位于所述第一面的相反侧的第二面，

在将所述贯通孔中的位于所述第一面上的部分称为第一开口部、将所述贯通孔中的位于所述第二面上的部分称为第二开口部的情况下，在沿着所述第一面的法线方向观察的情况下，所述第二开口部的轮廓包围所述第一开口部的轮廓。

4.根据权利要求3所述的蒸镀掩模，其中，

所述蒸镀掩模具有金属层，该金属层包含：

第一金属层，其位于所述第一面侧，形成有所述第一开口部；以及

第二金属层，其位于所述第二面侧，形成有所述第二开口部。

5.根据权利要求4所述的蒸镀掩模，其中，

构成所述中央区域的所述第二金属层的厚度比构成所述外周区域的所述第二金属层的厚度大。

6.根据权利要求4所述的蒸镀掩模，其中，

所述第一金属层和所述第二金属层是镀敷层。

7.根据权利要求3所述的蒸镀掩模，其中，

所述蒸镀掩模具有金属层，在该金属层上形成有所述贯通孔，

所述金属层的所述贯通孔在所述第一面的面方向上的尺寸随着从所述第二面侧朝向所述第一面侧而减小。

8.根据权利要求7所述的蒸镀掩模，其中，

所述金属层是镀敷层。

9.根据权利要求1或2所述的蒸镀掩模，其中，

最接近所述蒸镀掩模的端部的所述有效部的所述中央区域在所述第一方向上的厚度比最接近所述蒸镀掩模的中心的所述有效部的所述中央区域在所述第一方向上的厚度大。

10.一种蒸镀掩模的制造方法，是权利要求1所述的蒸镀掩模的制造方法，其中，

该蒸镀掩模的制造方法具有如下的镀敷处理工序：经由包含遮蔽部和贯通部的遮蔽板的所述贯通部提供镀敷液，形成与所述遮蔽部重叠的所述外周区域和与所述贯通部重叠的所述中央区域。