[发明专利]蒸镀设备及其调磁装置

说明书

本发明公开一种蒸镀设备及其调磁装置，所述调磁装置包括：一板体；数个电磁件，均匀分布于所述板体的一表面；及数个电驱动组件，将所述数个电磁件可移动地结合于所述板体，使所述各电磁件在一平面上沿二维方向移动。

技术领域

本发明是有关于一种蒸镀设备，特别是有关于一种可调节磁力分布的蒸镀设备及其调磁装置。

背景技术

现今，蒸镀设备应用广泛，举例而言，有机发光二极管(OLED)生产技术采用真空蒸镀工艺，以生产具有色彩鲜艳、高对比度、功耗低、可柔等诸多优点的OLED显示器，蒸镀环节的品质优劣直接影响产品的生产产能和成本。

在OLED显示器生产过程中，通过蒸镀设备中的磁性板(Magnet Plate)提供的磁力，致使基板(Mask base)与金属掩模(Metal Mask)贴合，以便将蒸镀材料(如有机电致发光材料)准确地镀在所述基板上的对应位置，以形成发光层。如果基板与金属掩模贴合处存在间隙，则会导致基板的蒸镀品质不好，从而降低良品率。特别是，在高世代的蒸镀线上及玻璃基板较大的情况下，对磁性板的磁力大小和均匀性有很高要求。

但是，目前实际应用中，在磁性板(如以永磁铁排布拼装定位)完成装机后，所述磁性板的磁力强弱和均匀性已被定型，无法根据生产中的不同产品尺寸和良率优化等需求调整磁力分布。

因此，现有技术存在缺陷，急需改进。

发明内容

有鉴于此，本发明提供一种蒸镀设备及其调磁装置，可调节磁力分布，以解决现有技术在蒸镀设备装机后的磁力分布无法调整的问题。

本发明的一方面提供一种调磁装置，用于一蒸镀设备，所述调磁装置包括：一板体；数个电磁件，均匀分布于所述板体的一表面；及数个电驱动组件，将所述数个电磁件可移动地结合于所述板体，使所述各电磁件在一平面上沿二维方向移动。

在一些实施例中，所述调磁装置还包括：一控制器，电性连接所述电磁件及所述电驱动组件，所述控制器传输数个控磁信号到所述数个电磁件，所述控磁信号由一软件调节。

在一些实施例中，所述控制器传输数个移控信号到所述数个电驱动组件，所述移控信号由所述软件调节。

在一些实施例中，所述数个电磁件阵列分布于所述板体的所述表面。

在一些实施例中，所述各电驱动组件为一电动二维移动平台，所述电动二维移动平台结合于所述数个电磁件中的一个与所述板体之间。

在一些实施例中，所述电动二维移动平台具有一固定座、二螺杆、二马达及一滑台，所述固定座结合于所述板体，所述二螺杆设置在所述固定座且分别沿所述二维方向延伸，所述二马达分别转动地耦合所述二螺杆，所述二螺杆与所述滑台螺纹地耦合，所述滑台结合所述数个电磁件中的一个。

在一些实施例中，所述数个电磁件中的一个与相邻的另一电磁件之间的一间距，且所述数个电磁件中的一个在所述平面上具有一定位点，所述定位点移向所述相邻的另一电磁件的一最大行程距离小于所述间距。

在一些实施例中，所述电磁件具有一铁芯及数个线圈绕组，所述线圈绕组缠绕于所述铁芯。

在一些实施例中，所述板体为用于所述蒸镀设备中的一轭板。

本发明的另一方面提供一种蒸镀设备，包括一腔体及如上所述的调磁装置，所述调磁装置设置于所述腔体内。

与现有技术相比较，本发明的蒸镀设备及其调磁装置通过所述电驱动组件将所述数个电磁件可移动地结合于所述板体，使所述各电磁件的位置及磁力特征均可改变。与其他蒸镀设备的磁板(如固定所有磁铁位置)相较，本发明的蒸镀设备及其调磁装置可以即时调整磁力分布以符合生产需求，可以避免磁力分布无法调整导致低良品率。

附图说明