[发明专利]蒸镀设备及其调磁装置

权利要求书

1.一种调磁装置，用于一蒸镀设备，其特征在于：所述调磁装置包括：

一板体；

数个电磁件，均匀分布于所述板体的一表面；及

数个电驱动组件，将所述数个电磁件可移动地结合于所述板体，所述各电驱动组件为一电动二维移动平台，所述电动二维移动平台结合于所述数个电磁件中的一个与所述板体之间，使所述各电磁件在一平面上沿二维方向移动。

2.如权利要求1所述的调磁装置，其特征在于：所述调磁装置还包括：

一控制器，电性连接所述电磁件及所述电驱动组件，所述控制器传输数个控磁信号到所述数个电磁件，所述控磁信号由一软件调节。

3.如权利要求2所述的调磁装置，其特征在于：所述控制器传输数个移控信号到所述数个电驱动组件，所述移控信号由所述软件调节。

4.如权利要求1所述的调磁装置，其特征在于：所述数个电磁件阵列分布于所述板体的所述表面。

5.如权利要求1所述的调磁装置，其特征在于：所述电动二维移动平台具有一固定座、二螺杆、二马达及一滑台，所述固定座结合于所述板体，所述二螺杆设置在所述固定座且分别沿所述二维方向延伸，所述二马达分别转动地耦合所述二螺杆，所述二螺杆与所述滑台螺纹地耦合，所述滑台结合所述数个电磁件中的一个。

6.如权利要求1所述的调磁装置，其特征在于：所述数个电磁件中的一个与相邻的另一电磁件之间的一间距，且所述数个电磁件中的一个在所述平面上具有一定位点，所述定位点移向所述相邻的另一电磁件的一最大行程距离小于所述间距。

7.如权利要求1所述的调磁装置，其特征在于：所述电磁件具有一铁芯及数个线圈绕组，所述线圈绕组缠绕于所述铁芯。

8.如权利要求1所述的调磁装置，其特征在于：所述板体为用于所述蒸镀设备中的一轭板。

9.一种蒸镀设备，包括一腔体，其特征在于：包括如权利要求1至8任一项所述的调磁装置，所述调磁装置设置于所述腔体内。