[发明专利]一种高频微波覆铜板蚀刻工艺

权利要求书

1.一种高频微波覆铜板的蚀刻工艺，其特征在于，包括以下步骤：

1)前处理：按照实际尺寸要求，使用裁板机对覆铜板基材进行裁剪，手工打磨去除四周毛刺；将印制电路板布线图打印到热转印纸上，热转印纸转印到覆铜板上，送入热转印机反复热压三次；待覆铜板冷却后，揭除热转印纸；

2)修版检测：检测覆铜板热转印效果，观察是否存在断线、沙眼情况，若存在，使用油性笔进行描修，若无则直接进入下一工序；

3)一次蚀刻：使用针刷式磨板机对覆铜板进行打磨，在覆铜板表面使用喷洒器均匀喷洒一次蚀刻液，至覆铜板表面的铜层厚度为60-120μm；

4)二次蚀刻：将一次蚀刻后的覆铜板进行贴膜、曝光、显影处理，浸入二次蚀刻液中，蚀刻过程在超声波清洗器中进行，上下移动覆铜板进行蚀刻，采用程序升温法形成印制图形；

5)冲洗：二次蚀刻后的覆铜板放入流动乙醇中冲洗40-60s，接着使用流动丙酮冲洗1-2min，最后使用流水冲洗3-5min即可。

2.根据权利要求1所述的高频微波覆铜板的蚀刻工艺，其特征在于，所述步骤1)手工打磨采用目数≥500目的砂纸进行打磨。

3.根据权利要求1所述的高频微波覆铜板的蚀刻工艺，其特征在于，所述步骤3)喷洒器距离覆铜板表面的距离为8-12cm，喷洒器上喷洒孔的孔径为40-60μm。

4.根据权利要求1所述的高频微波覆铜板的蚀刻工艺，其特征在于，所述一次蚀刻液由15vt％盐酸、磷酸钾、柠檬酸钠、磷酸二氢钾、EDTA、水按照质量比5:1:0.3:0.6:0.1:8配制而成。

5.根据权利要求1所述的高频微波覆铜板的蚀刻工艺，其特征在于，所述二次蚀刻液由氯化铵、双氧水、49wt％硫酸按照质量比1:18:6配制而成。

6.根据权利要求1所述的高频微波覆铜板的蚀刻工艺，其特征在于，所述步骤4)超声波清洗器的超声频率为40-60kHz，超声功率密度为10-15W/cm²。

7.根据权利要求1所述的高频微波覆铜板的蚀刻工艺，其特征在于，所述步骤4)程序升温法具体为：30-35℃保温蚀刻5-8min；以2-3℃/min升温至45-60℃，保温蚀刻3-5min；以3-4℃/min升温至65-75℃，保温蚀刻1-2min。

8.根据权利要求1所述的高频微波覆铜板的蚀刻工艺，其特征在于，所述步骤5)流动乙醇、流动丙酮、流水的冲洗压力为4-6KPa。