[发明专利]一种非均匀多层薄膜的镀膜方法

权利要求书

1.一种非均匀多层薄膜的镀膜方法，其特征在于，包括如下步骤：

S1.将试样(3)放入超声波清洗机中，用丙酮清洗试样(3)；

S2.将试样(3)放入真空干燥箱中干燥；

S3.将试样(3)放入非均匀多层薄膜的镀膜设备的试样台(4 )上；

S4.镀制第一薄膜层(16)：开启镀制第一薄膜层(16)的靶材，设定镀制第一薄膜层(16)的时间为T1，驱动机构驱动挡板(5)位于全部遮挡试样(3)表面的状态，所述试样(3)具有第一边缘(22)和第二边缘(23)，第一边缘(22)和第二边缘(23)相对设置，第一边缘(22)和第二边缘(23)之间的距离为S，挡板(5)的第一端(19)与试样(3)的第一边缘(22)在竖直方向上对齐，驱动机构驱动挡板(5)在试样(3)的上方以速度V1沿第一方向移动，其中V1＝S/T1；

S5.镀制第二薄膜层(17)：切换至镀制第二薄膜层(17)的靶材，并且驱动机构驱动挡板(5)位于全部遮挡试样(3)表面的状态并且挡板(5)的第二端(20)与试样(3)的第二边缘(23)对齐，设定镀制第二薄膜层(17)的时间为T2，驱动机构驱动挡板(5)在试样(3)的上方以速度V2沿第二方向移动，其中V2＝S/T2；

S6.镀制第三薄膜层(18)：切换至镀制第三薄膜层(18)的靶材，并且驱动机构驱动挡板(5)位于全部遮挡试样(3)表面的状态并且挡板(5)的第一端(19)与试样(3)的第一边缘(22)对齐，设定镀制第三薄膜层(18)的时间为T3，驱动机构驱动挡板(5)在试样(3)的上方以速度V2沿第一方向移动，其中V3＝S/T3；

S7.镀膜完成，关闭非均匀多层薄膜的镀膜设备。

2.按照权利要求1所述的一种非均匀多层薄膜的镀膜方法，其特征在于，在步骤S3之后和步骤S4之前还包括如下步骤：调节试样台(4)的高度，使所述挡板(5)的下表面与试样(3)的上表面之间的间隔的大小为1～10mm。

3.按照权利要求1所述的一种非均匀多层薄膜的镀膜方法，其特征在于，所述非均匀多层薄膜的镀膜设备包括镀膜腔体(1)，所述镀膜腔体(1)内固定有靶材(2)和用于放置试样(3)的试样台(4)，所述试样台(4)高度可调式连接在镀膜腔体(1)的内底面上，所述非均匀多层薄膜的镀膜设备还包括挡板(5)和驱动挡板(5)在试样(3)上方来回移动的驱动机构，所述挡板(5)的一端与驱动机构连接，所述挡板(5)位于试样(3)上方，所述挡板(5)的下表面与试样(3)的上表面之间具有间隔；所述驱动机构包括安装架(6)、支撑板(7)、减速箱(8)和伺服电机(9)，所述安装架(6)和支撑板(7)均固定在镀膜腔体(1) 的内底面上并且所述安装架(6)和支撑板(7)分别位于试样台(4)两侧，所述安装架(6)的两端分别转动连接有第一带轮(11)和第二带轮(12)，所述第一带轮(11)和第二带轮(12)通过皮带(10)连接，所述支撑板(7)上设有用于与挡板(5)的端部滑动连接的滑槽(13)，所述挡板(5)的一端与皮带(10)固定连接，所述挡板(5)的另一端与滑槽(13)滑动连接，所述第一带轮(11)与减速箱(8)连接，所述减速箱(8)与伺服电机(9)连接，所述减速箱(8)和伺服电机(9)固定在安装架(6)上。

4.按照权利要求3所述的一种非均匀多层薄膜的镀膜方法，其特征在于：所述安装架(6)上方设有罩板(21)。

5.按照权利要求3所述的一种非均匀多层薄膜的镀膜方法，其特征在于：所述试样台(4)高度可调式连接在镀膜腔体(1)的内底面上是指，所述试样台(4)的底端设有螺纹杆(14)，所述螺纹杆(14)上螺纹连接有螺母(15)，所述螺纹杆(14)的端部与镀膜腔体(1)的内底面螺纹连接，所述螺母(15)的下端面与镀膜腔体(1)的内底面抵紧。