[发明专利]钽环滚花表面粗糙度控制方法

说明书

本发明提供了一种钽环滚花表面粗糙度控制方法，涉及半导体的技术领域，包括在滚花后的工件表面进行抛光；抛光后检查工件上的花纹平面是否一致；确认抛光完成后，对工件表面进行粗糙度检测，确认工件表面粗糙度的一致性。本发明的目的在于提供一种钽环滚花表面粗糙度控制方法，对环件表面花纹进行抛光处理，使环件表面花纹粗糙度一致，花纹高低平整，从而提高产品在客户端的使用性能。

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，尤其是涉及一种钽环滚花表面粗糙度控制方法。

背景技术

环件是参与半导体溅射的材料，在PVD镀膜过程中和靶材一起参与溅射，在溅射过程中环件上的花纹起到原子吸附作用。

缺点：

在环件表面滚花后花纹粗糙度不均匀，也就是花纹凹凸不平，产品表面某颗花纹偏高突出会造成“尖端放电”，偏低会造成表皮脱落，客户端使用性能不稳定。

因此，需要对环件表面花纹进行处理，使环件表面花纹粗糙度一致，花纹高低平整是本领域技术人员亟待解决的问题。

公开于该背景技术部分的信息仅仅旨在加深对本发明的总体背景技术的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域技术人员所公知的现有技术。

发明内容

本发明的目的在于提供一种钽环滚花表面粗糙度控制方法，对环件表面花纹进行抛光处理，使环件表面花纹粗糙度一致，花纹高低平整，从而提高产品在客户端的使用性能。

为实现上述目的，本发明提供以下技术方案：

本发明提供一种钽环滚花表面粗糙度控制方法，包括：

在滚花后的工件表面进行抛光；

抛光后检查工件上的花纹平面是否一致；

确认抛光完成后，对工件表面进行粗糙度检测，确认工件表面粗糙度的一致性。

进一步地，所述在滚花后的工件表面进行抛光包括：

用机床的Y轴方向来控制抛光刀具对工件表面的抛光力度。

进一步地，所述抛光后检查工件上的花纹平面是否一致包括：

用移动放大镜检查工件上的花纹平面是否一致。

进一步地，所述钽环滚花表面粗糙度控制方法还包括：

工件上的花纹平面不一致，再次进行抛光。

进一步地，所述对工件表面进行粗糙度检测包括：

用粗糙度检测仪对工件表面进行粗糙度检测。

进一步地，所述在滚花后的工件表面进行抛光包括：

将砂纸粘在所述抛光刀具上。

进一步地，所述抛光刀具包括刀柄、调节组件、抛光刀主体和计量装置；

所述抛光刀主体通过调节组件安装于所述刀柄上；

所述计量装置安装于所述抛光刀主体上用于计量所述抛光刀主体对工件表面的抛光力度。

进一步地，所述调节组件包括弹性元件和导向件；

所述弹性元件设置在所述刀柄与所述抛光刀本体之间，用于调节所述抛光刀本体与所述刀柄之间的作用力，以调节所述抛光刀主体对工件表面的抛光力度；

所述导向件设置在所述弹性元件内部或者套设在所述弹性元件外部。

进一步地，所述导向件与所述刀柄滑动连接，且所述导向件与所述刀柄通过限位件限位。