[发明专利]钽环滚花表面粗糙度控制方法在审
| 申请号： | 201811226171.0 | 申请日： | 2018-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN109290931A | 公开（公告）日： | 2019-02-01 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;毛杰 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/04 | 分类号： | B24B29/04;B24B49/00 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 孙辉 |
| 地址： | 315000 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 粗糙度控制 滚花表面 抛光 钽环 表面花纹 工件表面 环件 花纹 工件表面粗糙度 粗糙度检测 检查工件 抛光处理 使用性能 粗糙度 滚花 半导体 平整 客户 | ||
1.一种钽环滚花表面粗糙度控制方法，其特征在于，包括：
在滚花后的工件表面进行抛光；
抛光后检查工件上的花纹平面是否一致；
确认抛光完成后，对工件表面进行粗糙度检测，确认工件表面粗糙度的一致性。
2.根据权利要求1所述的钽环滚花表面粗糙度控制方法，其特征在于，所述在滚花后的工件表面进行抛光包括：
用机床的Y轴方向来控制抛光刀具对工件表面的抛光力度。
3.根据权利要求1所述的钽环滚花表面粗糙度控制方法，其特征在于，所述抛光后检查工件上的花纹平面是否一致包括：
用移动放大镜检查工件上的花纹平面是否一致。
4.根据权利要求1所述的钽环滚花表面粗糙度控制方法，其特征在于，所述钽环滚花表面粗糙度控制方法还包括：
工件上的花纹平面不一致，再次进行抛光。
5.根据权利要求1所述的钽环滚花表面粗糙度控制方法，其特征在于，所述对工件表面进行粗糙度检测包括：
用粗糙度检测仪对工件表面进行粗糙度检测。
6.根据权利要求2所述的钽环滚花表面粗糙度控制方法，其特征在于，所述在滚花后的工件表面进行抛光包括：
将砂纸粘在所述抛光刀具上。
7.根据权利要求2所述的钽环滚花表面粗糙度控制方法，其特征在于，所述抛光刀具包括刀柄、调节组件、抛光刀主体和计量装置；
所述抛光刀主体通过调节组件安装于所述刀柄上；
所述计量装置安装于所述抛光刀主体上用于计量所述抛光刀主体对工件表面的抛光力度。
8.根据权利要求7所述的钽环滚花表面粗糙度控制方法，其特征在于，所述调节组件包括弹性元件和导向件；
所述弹性元件设置在所述刀柄与所述抛光刀本体之间，用于调节所述抛光刀本体与所述刀柄之间的作用力，以调节所述抛光刀主体对工件表面的抛光力度；
所述导向件设置在所述弹性元件内部或者套设在所述弹性元件外部。
9.根据权利要求8所述的钽环滚花表面粗糙度控制方法，其特征在于，所述导向件与所述刀柄滑动连接，且所述导向件与所述刀柄通过限位件限位。
10.根据权利要求7所述的钽环滚花表面粗糙度控制方法，其特征在于，所述计量装置包括刻度尺，所述刻度尺与所述刀柄滑动连接，所述刀柄上设有与所述刻度尺上刻度线匹配的刻度线。
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