[发明专利]过滤器润湿系统及供液系统在审
申请号: | 201811221462.0 | 申请日: | 2018-10-19 |
公开(公告)号: | CN111068963A | 公开(公告)日: | 2020-04-28 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 长鑫存储技术有限公司 |
主分类号: | B05B15/40 | 分类号: | B05B15/40;B05B15/00 |
代理公司: | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人: | 余明伟 |
地址: | 230601 安徽省合肥市合肥*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 过滤器 润湿 系统 | ||
1.一种过滤器润湿系统,其特征在于,包括:
过滤装置,包括至少一个过滤器;
排放管路,与所述过滤装置的排污口相连接,用于排放经所述过滤装置过滤后产生的残液;
润湿管路,一端与所述排放管路相连接,用于对备用过滤器进行预润湿。
2.根据权利要求1所述的过滤器润湿系统,其特征在于:所述过滤装置包括一个过滤器,所述过滤器包括进液口、出液口及排污口,所述过滤器的进液口、出液口及排污口与所述过滤装置的进液口、出液口及排污口一一对应。
3.根据权利要求1所述的过滤器润湿系统,其特征在于:所述过滤装置包括第一过滤器和第二过滤器,所述第一过滤器和所述第二过滤器均包括进液口、出液口及排污口,所述第一过滤器的进液口与所述过滤装置的进液口相对应,所述第一过滤器的出液口与所述第二过滤器的进液口相连接,所述第二过滤器的排污口与所述排放管路相连接。
4.根据权利要求1所述的过滤器润湿系统,其特征在于:所述润湿管路的另一端与所述排放管路相连接,所述备用过滤器连接于所述润湿管路上。
5.根据权利要求1所述的过滤器润湿系统,其特征在于:所述润湿管路上设置有过滤器支架,用于放置所述备用过滤器。
6.根据权利要求1所述的过滤器润湿系统,其特征在于:所述润湿管路上设置有阀门,所述阀门设置于所述润湿管路与所述排放管路相邻的一端。
7.根据权利要求1所述的过滤器润湿系统,其特征在于:所述过滤器润湿系统还包括回收容器,所述回收容器与所述排放管路相连接,用于回收所述排放管路排放的残液。
8.根据权利要求6所述的过滤器润湿系统,其特征在于:所述过滤器润湿系统还包括延时器,所述延时器与所述阀门相连接,用于在经设定的时间后将所述阀门关闭。
9.根据权利要求7所述的过滤器润湿系统,其特征在于:所述润湿管路的另一端与所述回收容器相连接。
10.一种供液系统,其特征在于,包括:
供液管路,所述供液管路一端连接至液体供给源;
过滤装置,所述过滤装置包括进液口、出液口及排污口,所述过滤装置的进液口与所述供液管路远离所述液体供给源的一端相连接,所述过滤装置用于过滤所述供液管路中的液体含有的杂质;
喷涂装置,与所述过滤装置的出液口相连接,用于将过滤后的液体喷涂至基底上;
排放管路,与所述过滤装置的排污口相连接,用于排放经所述过滤装置过滤后产生的残液;
润湿管路,一端与所述排放管路相连接,用于对备用过滤器进行预润湿。
11.根据权利要求10所述的供液系统,其特征在于:所述过滤装置包括一个过滤器,所述过滤器包括进液口、出液口及排污口,所述过滤器的进液口、出液口及排污口与所述过滤装置的进液口、出液口及排污口一一对应。
12.根据权利要求10所述的供液系统,其特征在于:所述过滤装置包括第一过滤器和第二过滤器,所述第一过滤器和所述第二过滤器均包括进液口、出液口及排污口,所述第一过滤器的进液口与所述供液管路远离所述液体供给源的一端相连接,所述第一过滤器的出液口与所述第二过滤器的进液口相连接,所述第二过滤器的出液口与所述喷涂装置相连接,所述第二过滤器的排污口与所述排放管路相连接。
13.根据权利要求10所述的供液系统,其特征在于:所述润湿管路的另一端与所述排放管路相连接,所述备用过滤器连接于所述润湿管路上。
14.根据权利要求10所述的供液系统,其特征在于:所述润湿管路上设置有过滤器支架,用于放置所述备用过滤器。
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