[发明专利]一种新型梯形滤光片

说明书

本发明提供一种新型梯形滤光片，包括基片，所述基片的横截面为梯形结构，所述基片的一个侧面上镀有膜系，所述膜系包括多个膜系层，以该基片的镀膜面为底面，沿从下到上的顺序，所述多个膜系层的厚度先逐渐增大，再逐渐减小。该梯形滤光片在镀膜面的一侧镀膜，膜系的膜层厚度先逐渐变大再逐渐变小，膜系层的结构设置为不同的结构并分层进行镀膜，这样就可大幅度减小甚至消除薄膜结构内部的残余应力,避免可能由残余应力引起的各种失效形式，从而保证镀膜层在基片上的牢固度，防止镀膜出现破裂、脱落的情况，可有效提高滤光片的产品质量。

技术领域

本发明涉及光通信技术领域，特别涉及一种梯形结构的滤光片。

背景技术

光通信是指以光作为信息载体而实现的通信方式，按传输介质的不同可分为大气激光通信和光纤通信两种。光通信具有通信容量大、传输距离长、抗电磁干扰、传输质量佳、信号串扰小、保密性好等优点，是未来传输网络发展的最终目标，具有非常广阔的市场前景。在光通信产品的双向收发器模块中，通过选定波长的雷射讯号，而反射不需要的波段通常采用滤光片（edge filters）实现，可以说滤光片在光通信产品中起着致关重要的作用。

梯形滤光片将基片设置为梯形结构，这样可以避免光电器件发出的光经过陶瓷片反射后从原路返回，因此存在较好的滤光效果，如发明专利（专利号：201721719827.3）就公开了一种梯形滤光片，包括滤光片本体，所述滤光片本体的横截面为梯形，所述滤光片本体的一个斜面上镀有膜系层，所述膜系层与所述滤光片本体之间还设有增透膜层，所述增透膜层包括至少一层MgF2膜层和至少一层SiO2膜层，所述SiO2膜层与所述MgF2膜层交替设置。

但现在的梯形滤光片往往会镀膜层破裂、脱落的情况，出现这种情况的原因往往是镀膜层在基片表面应力不一致造成的，而对于梯形的滤光片而言，由于基片结构较为特殊，因此，这一情况更为严重，因此，有必要对现有的梯形滤光片再做进一步的改进，来提高产品的质量及合格率。

发明内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种能有效防止镀膜从基片上脱落，产品镀膜成品率高的新型梯形滤光片。

一种新型梯形滤光片，一种新型梯形滤光片，包括基片，所述基片的横截面为梯形结构，所述基片的一个侧面上镀有膜系，所述膜系包括多个膜系层，以该基片的镀膜面为底面，沿从下到上的顺序，所述多个膜系层的厚度先逐渐增大，再逐渐减小。

优选的，所述膜系的膜系层结构为LHLHL结构，其中H表示TiO2层、L层为SiO2层

优选的，沿由下向上的顺序，各膜系层厚度依次为43-48nm、52-56nm、92-101nm、82-87nm、65-72nm。

优选的，所述膜系的中间膜系层分两次镀膜设置。

优选的，所述膜系与所述基片之间还设有增透膜层。

优选的，所述增透膜层包括两层MgF₂膜层和一层SiO₂膜层，所述SiO₂膜层位于两层MgF₂膜层之间，上层MgF₂膜层的厚度大于下层MgF₂膜层的厚度。

所述增透膜层的下层MgF₂膜层厚度为38-40nm，SiO2膜层厚度为78-96nm，上层MgF₂膜层厚度为42-50nm。

如上所述，本新型梯形滤光片具有以下有益效果：该梯形滤光片在镀膜面的一侧镀膜，膜系的膜层厚度先逐渐变大再逐渐变小，膜系层的结构设置为不同的结构并分层进行镀膜，这样就可大幅度减小甚至消除薄膜结构内部的残余应力,避免可能由残余应力引起的各种失效形式，从而保证镀膜层在基片上的牢固度，防止镀膜出现破裂、脱落的情况，可有效提高滤光片的产品质量。

附图说明