[发明专利]一种新型梯形滤光片在审
| 申请号： | 201811216559.2 | 申请日： | 2018-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN109212645A | 公开（公告）日： | 2019-01-15 |
| 发明（设计）人： | 王红 | 申请（专利权）人： | 苏州文迪光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/28 | 分类号： | G02B5/28 |
| 代理公司： | 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251 | 代理人： | 刘计成 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 滤光片 镀膜 膜系层 膜系 残余应力 薄膜结构 结构设置 失效形式 梯形结构 逐渐变大 逐渐变小 逐渐减小 逐渐增大 镀膜层 镀膜面 牢固度 底面 分层 减小 膜层 破裂 侧面 保证 | ||
【权利要求书】：
1.一种新型梯形滤光片，包括基片，所述基片的横截面为梯形结构，所述基片的一个侧面上镀有膜系，所述膜系包括多个膜系层，其特征在于：以该基片的镀膜面为底面，沿从下到上的顺序，所述多个膜系层的厚度先逐渐增大，再逐渐减小。
2.根据权利要求1所述的新型梯形滤光片，其特征在于：所述膜系的膜系层结构为LHLHL结构，其中H表示TiO2层、L层为SiO2层 。
3.根据权利要求2所述的新型梯形滤光片，其特征在于：沿由下向上的顺序，各膜系层厚度依次为43-48nm、52-56nm、92-101nm、82-87nm、65-72nm。
4.根据权利要求2所述的新型梯形滤光片，其特征在于：所述膜系的中间膜系层分两次进行镀膜设置。
5.根据权利要求1所述的新型梯形滤光片，其特征在于：所述膜系与所述基片之间还设有增透膜层。
6.根据权利要求4所述的新型梯形滤光片，其特征在于：所述增透膜层包括两层MgF2膜层和一层SiO2膜层，所述SiO2膜层位于两层MgF2膜层之间，上层MgF2膜层的厚度大于下层MgF2膜层的厚度。
7.根据权利要求5所述的新型梯形滤光片，其特征在于：所述增透膜层的下层MgF2膜层厚度为38-40nm，SiO2膜层厚度为78-96nm，上层MgF2膜层厚度为42-50nm。
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