[发明专利]纳米粒子、显示基板的制备方法及显示装置有效
申请号: | 201811215851.2 | 申请日: | 2018-10-18 |
公开(公告)号: | CN109378395B | 公开(公告)日: | 2021-08-06 |
发明(设计)人: | 陈卓;梅文海 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方技术开发有限公司 |
主分类号: | H01L51/50 | 分类号: | H01L51/50;H01L51/56;B82Y30/00 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 刘伟;蔡丽 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 纳米 粒子 显示 制备 方法 显示装置 | ||
本发明涉及显示领域,特别涉及纳米粒子、显示基板的制备方法及显示装置。所述纳米粒子包括纳米颗粒,以及连接于纳米颗粒表面的第一配体和第二配体,所述第一配体具有碱溶性,所述第二配体受热后可发生交联。所述显示基板的制备方法为:在基板上形成纳米粒子层;纳米粒子层上涂布光刻胶,前烘处理后,采用掩膜板对光刻胶进行曝光;进行显影处理,光刻胶未保留区域的光刻胶被完全去除,暴露出的纳米粒子层溶于显影液中;进行后烘处理,所述光刻胶保留区域覆盖的纳米粒子的第二配体之间发生交联反应,固定在所述基板上;剥离光刻胶,完成纳米粒子层的图案化。所述纳米粒子可以与光刻工艺相结合,达到纳米粒子图案化的高分辨率。
技术领域
本发明涉及显示领域,特别涉及一种纳米粒子、显示基板的制备方法及显示装置。
背景技术
量子点(Quantum Dots,QDs),又称为纳米晶,是一种由II-VI族或III-V族元素构成的纳米颗粒。量子点的粒径一般介于1~20nm之间,由于电子和空穴被量子限域,连续的能带结构变成分立的能级结构,受激后可以发射荧光。
随着量子点制备技术的深入发展,量子点的稳定性以及发光效率不断提升,量子点发光二极管(Quantum Light Emitting Diode,QLED)的研究不断深入,QLED在显示领域的应用前景日渐光明。但是,目前QLED的生成效率还没有达到量产水平,其中最重要的原因是QLED的高分辨率图案化技术目前还没有取得突破。
现有技术制造图案化的类似量子点的纳米粒子时,由于纳米粒子的无机纳米粒子特性,无法通过蒸镀成膜并图案化的方法制作图案化的纳米粒子。
现有技术一般通过喷墨打印法制作图案化的纳米粒子,而采用这种方法很难达到较高的分辨率。现有技术为了提高产品的分辨率,采用光刻法制作图案化的纳米粒子,由于光刻法包括曝光过程,而曝光过程容易对纳米粒子的性能造成影响。
发明内容
本发明要解决的技术问题是:提供一种纳米粒子、显示基板的制备方法及显示装置。所述纳米粒子可以与光刻工艺相结合,达到纳米粒子图案化的高分辨率。
本发明公开了一种纳米粒子,包括纳米颗粒,以及
连接于纳米粒子表面的第一配体和第二配体,
所述第一配体具有碱溶性,所述第二配体受热后可发生交联。
优选地,所述纳米粒子为量子点,所述量子点包括无机核/壳结构的纳米颗粒,所述第一配体和第二配体连接于所述无机核/壳结构纳米颗粒的表面。
优选地,所述第一配体包括羧基、酚羟基、酯基、氰基、9-芴甲氧羰基、和C1~C20的卤代烃基中的一种或多种。
优选地,所述第二配体包括烃基、炔基和环氧基中的一种或多种。
优选地,所述第一配体的摩尔数多于第二配体的摩尔数。
本发明公开了一种显示基板的制备方法,包括以下步骤:
步骤1:将上述技术方案所述的纳米粒子涂布在基板上,形成纳米粒子层;
步骤2:在所述纳米粒子层上涂布正性光刻胶,前烘处理后,采用掩膜板对所述正性光刻胶进行曝光,使光刻胶形成光刻胶未保留区域和光刻胶保留区域;
步骤3:进行显影处理,光刻胶未保留区域的光刻胶被完全去除,暴露出的纳米粒子层溶于碱性显影液中,脱离所述基板后被去除;
步骤4:进行后烘处理,所述光刻胶保留区域覆盖的纳米粒子的第二配体之间发生交联反应,所述光刻胶保留区域覆盖的纳米粒子层固定在所述基板上;
步骤5:剥离所述光刻胶保留区域的光刻胶,完成纳米粒子层的图案化。
优选地,所述纳米粒子为量子点。
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