[发明专利]一种消除闪存编程干扰的电路有效

专利信息
申请号: 201811198901.0 申请日: 2018-10-15
公开(公告)号: CN109473140B 公开(公告)日: 2020-11-20
发明(设计)人: 胡剑;杨光军 申请(专利权)人: 上海华虹宏力半导体制造有限公司
主分类号: G11C16/34 分类号: G11C16/34
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 屈蘅
地址: 201203 上海市浦东*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 消除 闪存 编程 干扰 电路
【说明书】:

发明公开了一种消除闪存编程干扰的电路,包括:窄脉冲产生电路,用于产生一宽度为τ的正向窄脉冲;窄脉冲输出电路,用于根据所述窄脉冲产生电路的输出产生宽度为τ的正向窄脉冲和负向窄脉冲,即编程预充电窄脉冲PROGDR_P和编程许可窄脉冲PROGEN_P;位线充电电路,用于在所述编程预充电窄脉冲PROGDR_P的宽度为τ的正向窄脉冲的控制下打开NMOS管以将对应的位线快速预充电至Vdd‑Vt,通过本发明,可消除NORD cell的编程干扰。

技术领域

本发明涉及存储单元编程技术领域,特别是涉及一种消除闪存编程干扰的电路。

背景技术

图1为现有技术之NORD Cell阵列示意图。其中存储阵列为M*N,每一列有M个存储单元,每一行有N个存储单元,每个存储单元有两个存储位,对应位线分别为第一位线BL0j、第二位线BL1j,j=0,1,……,N-1,每一列的第一位线BL0j和第二位线BL1j间隔连接,即第0行的存储单元的第一位线BL0与第1行的存储单元的第二位线BL1、第2行的存储单元的第一位线BL0、第3行的存储单元的第二位线BL1、……相连组成该列的第一位线BL0j,而第0行的存储单元的第二位线BL1与第1行的存储单元的第一位线BL0、第2行的存储单元的第二位线BL1、第3行的存储单元的第一位线BL0、……相连组成该列的第二位线BL1j,每个存储单元的两个存储位对应两个控制栅极,即第一控制栅极CG0i、第二控制栅极CG1i,每个存储单元的两个存储位共用字线WLi,i=0,1,……,M-1,每一行的存储单元共用第一控制栅极CG0i、第二控制栅极CG1i和字线WLi,每个存储单元的结构如图2所示。

图2为现有技术中一种双分离栅存储单元(NORD Cell)结构示意图。如图2所示,该双分离栅存储单元,包括:半导体P型衬底(P_sub)10,其上设置N阱(N-Well)11,N阱11上具有间隔设置的源极区域(S)110和漏极区域(D)120及沟道区130;沟道区130,位于源极区域(S)110和漏极区域(D)120之间;第一位线BL0和第二位线BL1,分别连接于源极区域110和漏极区域120;第一浮栅210,设置于源极区域110右上方之沟道区130上方;第二浮栅220,设置于漏极区域120左上方之沟道区130上方,第一浮栅210和第二浮栅220分别构成第一存储位单元和第二存储位单元;第一控制栅310和第二控制栅320,分别设置于第一浮栅210和第二浮栅220上方,第一和第二控制栅线分别连接第一控制栅310和第二控制栅320;字线区40,位于第一浮栅210和第二浮栅220之间的沟道区130上方,字线WL连接字线区40,所有隔离用的氧化硅(BL0、CG0、WL、CG1、BL1间)均忽略。

现有技术对图2所示双分离栅闪存编程时一般采用源极注入方式(SourceSideinjection),假设左侧存储位a(椭圆圈处存储位)被选中,设置字线电压WL=1.4V,第一控制栅线电压CG0=8.6V,第一位线BL0电压BL0=5.25V,第二控制栅线电压CG1=5.25V,第二位线BL1为编程下拉电压Vdp。

编程下拉电压Vdp是通过编程下拉电流Idp自动产生,如果选中存储单元的选中位的位线编程高压Vsp=5.25v已经施加上去,选中存储单元的未选中位的位线电压即编程下拉电压Vdp上去太慢就可能会对同列不选中的存储单元(cell)产生编程干扰。

对于NORD cell,假设选中图2所示存储位a,时序如图3所示,片选CEb拉低,地址AMS-8(高位到低位)有效,编程模式PROG信号起来时,编程电流Idp开始下拉,第二位线BL1的电压Vdp被拉到0,等PROG2完全建立,需要编程的IO对应的第一位线BL0被施加编程高压Vsp,当编程高压Vsp被施加上去的时候,第二位线BL1的编程下拉电压Vdp有一个建立过程,在这个过程中同列不选中的cell可能产生编程干扰

发明内容

为克服上述现有技术存在的不足,本发明之目的在于提供一种消除闪存编程干扰的电路,以消除NORD cell的编程干扰。

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