[发明专利]一种用于单晶炉的热场在审
| 申请号: | 201811197884.9 | 申请日: | 2018-10-15 |
| 公开(公告)号: | CN109554748A | 公开(公告)日: | 2019-04-02 |
| 发明(设计)人: | 耿禹恒 | 申请(专利权)人: | 徐州振丰原喷灌设备有限公司 |
| 主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B15/10;C30B35/00 |
| 代理公司: | 南京中高专利代理有限公司 32333 | 代理人: | 吕波 |
| 地址: | 221600 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 加热套筒 炉体 分隔板 坩埚 抽风机 单晶炉 热场 燃烧室 高度调节机构 顶部安装 搅拌装置 上下两层 加热室 密封盖 送风管 支撑脚 分隔 下层 加热 上层 体内 室内 制造 | ||
本发明涉及一种用于单晶炉的热场,包括炉体、加热套筒和坩埚,所述的炉体的底部设置有支撑脚,所述的炉体的顶部安装有密封盖,所述的炉体内设置有分隔板,所述的分隔板将炉体1的内部空间分隔成上下两层,其中上层为加热室,下层为燃烧室,所述的加热套筒安装在加热室内,所述的坩埚通过高度调节机构连接在加热套筒内,分隔板的底部安装有抽风机,所述的抽风机通过送风管与加热套筒的内部空间相连通,所述的坩埚内还设置有搅拌装置。本设计具有结构简单、易于制造和实用高效的优点。
技术领域
本发明涉及单晶炉技术领域,具体的涉及一种用于单晶炉的热场。
背景技术
目前,单晶80炉内一般使用的是18寸的热场,热场内的三瓣埚内径尺寸一般为57mm,最大装料量单晶炉一次55kg。而随着生产水平的提高,对生产设备的需求也在不断加大,所以现有的单晶80炉不仅容量不能满足生产需求,而且生产成本高,不能灵活地适应市场需求。
发明内容
本发明在坩埚内设置有搅拌装置,通过搅拌装置把坩埚内底层的原料翻转至上方,使坩埚内所有的原料都能够得到充分的加热,提高了热场的工作效率,而提供一种用于单晶炉的热场。
为解决上述的技术问题,本发明提供了一种用于单晶炉的热场,其特征在于:包括炉体、加热套筒和坩埚,所述的炉体的底部设置有支撑脚,所述的炉体的顶部安装有密封盖,所述的炉体内设置有分隔板,所述的分隔板将炉体1的内部空间分隔成上下两层,其中上层为加热室,下层为燃烧室,所述的加热套筒安装在加热室内,所述的坩埚通过高度调节机构连接在加热套筒内,分隔板的底部安装有抽风机,所述的抽风机通过送风管与加热套筒的内部空间相连通,所述的坩埚内还设置有搅拌装置。
进一步:所述的搅拌装置包括伺服电机、搅拌轴、连接筒和搅拌框架,所述的搅拌轴转动连接在坩埚内,所述的伺服电机安装在坩埚的外壁上,伺服电机的出轴端伸入至坩埚内并与搅拌轴相连,所述的搅拌框架通过连接筒连接在搅拌轴上。
又进一步:所述的加热套筒的内壁上嵌入式地连接有电加热管。
又进一步:所述的炉体1上端的侧壁上连接有热气回收管道,所述的热气回收管道的一端与加热室相连通,所述的炉体内壁内还开设有空腔,所述的热气回收管道的另一端与空腔相连通,所述的炉体下端的侧壁上还连接有尾气排放管,所述的尾气排放管也与空腔相连通。
再进一步:所述的高度调节机构包括安装在加热套筒内底部的气动缸、传动杆和连接座,所述的连接座安装在坩埚的底部,所述的连接座的下端开设有与传动杆相匹配的连接孔,所述的气动缸与传动杆相连,所述的传动杆的上端伸入至连接孔内,所述的连接座下端的侧壁上开设有螺纹孔,所述的螺纹孔内连接有顶紧螺栓,所述的顶紧螺栓穿过螺纹孔与传动杆相连,所述的传动杆相通过顶紧螺栓与连接座固定连接。
采用上述结构后,本发明在坩埚内设置有搅拌装置,通过搅拌装置把坩埚内底层的原料翻转至上方,使坩埚内所有的原料都能够得到充分的加热,提高了热场的工作效率;并且本设计还具有结构简单、易于制造和实用高效的优点。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。
图1为本发明的结构示意图。
图2为坩埚内搅拌装置的结构示意图。
具体实施方式
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