[发明专利]一种用于单晶炉的热场

权利要求书

1.一种用于单晶炉的热场，其特征在于：包括炉体、加热套筒和坩埚，所述的炉体的底部设置有支撑脚，所述的炉体的顶部安装有密封盖，所述的炉体内设置有分隔板，所述的分隔板将炉体1的内部空间分隔成上下两层，其中上层为加热室，下层为燃烧室，所述的加热套筒安装在加热室内，所述的坩埚通过高度调节机构连接在加热套筒内，分隔板的底部安装有抽风机，所述的抽风机通过送风管与加热套筒的内部空间相连通，所述的坩埚内还设置有搅拌装置。

2.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉的热场，其特征在于：所述的搅拌装置包括伺服电机、搅拌轴、连接筒和搅拌框架，所述的搅拌轴转动连接在坩埚内，所述的伺服电机安装在坩埚的外壁上，伺服电机的出轴端伸入至坩埚内并与搅拌轴相连，所述的搅拌框架通过连接筒连接在搅拌轴上。

3.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉的热场，其特征在于：所述的加热套筒的内壁上嵌入式地连接有电加热管。

4.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉的热场，其特征在于：所述的炉体1上端的侧壁上连接有热气回收管道，所述的热气回收管道的一端与加热室相连通，所述的炉体内壁内还开设有空腔，所述的热气回收管道的另一端与空腔相连通，所述的炉体下端的侧壁上还连接有尾气排放管，所述的尾气排放管也与空腔相连通。

5.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉的热场，其特征在于：所述的高度调节机构包括安装在加热套筒内底部的气动缸、传动杆和连接座，所述的连接座安装在坩埚的底部，所述的连接座的下端开设有与传动杆相匹配的连接孔，所述的气动缸与传动杆相连，所述的传动杆的上端伸入至连接孔内，所述的连接座下端的侧壁上开设有螺纹孔，所述的螺纹孔内连接有顶紧螺栓，所述的顶紧螺栓穿过螺纹孔与传动杆相连，所述的传动杆相通过顶紧螺栓与连接座固定连接。