[发明专利]一种镀铜后铜面防氧化液及制备方法在审
| 申请号: | 201811178463.1 | 申请日: | 2018-10-10 |
| 公开(公告)号: | CN109295449A | 公开(公告)日: | 2019-02-01 |
| 发明(设计)人: | 张毅;张新学;刘龙平 | 申请(专利权)人: | 深圳市互连微电子材料有限公司 |
| 主分类号: | C23C22/68 | 分类号: | C23C22/68 |
| 代理公司: | 深圳市深佳知识产权代理事务所(普通合伙) 44285 | 代理人: | 王仲凯 |
| 地址: | 518000 广东省深圳市宝安*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 铜面 防氧化液 镀铜 成膜主剂 抗氧化 去除 制备 铜面抗氧化剂 表面活性 化学沉铜 抗氧化膜 去离子水 保护膜 电镀铜 化学镀 加速剂 浓度计 电镀 络合 硫酸 申请 盐酸 配方 清洗 | ||
1.一种镀铜后铜面防氧化液,其特征在于,以质量浓度计,包括:
2.根据权利要求1所述的防氧化液,其特征在于,所述抗氧化成膜主剂包括有机膦酸、有机膦酸盐、多聚磷酸盐、有机膦酸盐或有机膦酸复配物、有机膦酸与多聚磷酸盐复配物、有机膦酸盐与多聚磷酸盐复配物中的一种或者多种。
3.根据权利要求2所述的防氧化液,其特征在于,所述有机膦酸包括氨基三甲叉膦酸、羟基乙叉二膦酸、2-膦酸丁烷-1,2,4-三羧酸、二乙烯三胺五甲叉膦酸中的一种或多种;
所述有机膦酸盐包括氨基三甲叉膦酸盐、羟基乙叉二膦酸盐、2-膦酸丁烷-1,2,4-三羧酸盐、二乙烯三胺五甲叉膦酸盐中的一种或多种。
4.根据权利要求2所述的防氧化液,其特征在于,所述多聚磷酸盐包括焦磷酸钠、多聚磷酸钠、多聚磷酸钾、六偏磷酸钠、六偏磷酸钾、焦磷酸钾中的一种或多种。
5.根据权利要求1所述的防氧化液,其特征在于,所述表面活性剂为阴离子表面活性剂、阳离子表面活性剂、非离子表面活性剂、两性表面活性剂中的一种或者两种。
6.根据权利要求5所述的防氧化液,其特征在于,所述表面活性剂包括阴离子表面活性剂与非离子表面活性的复配物。
7.根据权利要求6所述的防氧化液,其特征在于,所述阴离子表面活性剂与非离子表面活性的复配物的质量浓度包括0.1g/L-1g/L。
8.根据权利要求1至7任一项所述的防氧化液,其特征在于,所述加速剂为硫酸铜。
9.根据权利要求1至7任一项所述的防氧化液,其特征在于,所述抗氧化膜主剂的质量浓度包括10g/L-50g/L。
10.一种镀铜后铜面防氧化液的制备方法,其特征在于,包括:
将成膜主剂、表面活性剂加入水中,再加入加速剂,混合得到防氧化液;
以质量浓度计,所述防氧化液包括:
以使得在25-40℃的条件下,将完成化学沉铜或者电镀铜印制电路板在所述防氧化液中浸渍3-20min。
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