[发明专利]可旋转加热静电夹盘

权利要求书

1.一种静电夹盘，包括：

介电盘，所述介电盘具有支撑基板的支撑表面以及相对的第二表面，其中至少一个夹持电极设置于所述介电盘内，并且所述介电盘包括一或多个射频偏压电极；

射频(RF)偏压板，所述射频偏压板设置在所述介电盘下方并电容地耦合至所述一或多个射频偏压电极以将电力输送至所述一或多个射频偏压电极；

轴杆，所述轴杆在所述轴杆的第一端耦接至所述介电盘的所述第二表面以支撑所述介电盘而使所述介电盘与所述射频偏压板呈间隔开的关系，且所述轴杆延伸离开所述介电盘且延伸穿过所述射频偏压板；以及

旋转组件，所述旋转组件耦接至所述轴杆以使所述轴杆和所述介电盘相对于所述射频偏压板旋转。

2.如权利要求1所述的静电夹盘，其中所述静电夹盘是双极静电夹盘。

3.如权利要求1所述的静电夹盘，进一步包括：

外壳，所述外壳容纳所述射频偏压板。

4.如权利要求1所述的静电夹盘，进一步包括多个灯，所述多个灯设置在所述射频偏压板下方，其中所述射频偏压板设置在所述介电盘与所述多个灯之间。

5.如权利要求1至4的任一项所述的静电夹盘，其中所述旋转组件是磁性旋转组件。

6.如权利要求5所述的静电夹盘，其中所述磁性旋转组件包括内磁体与外磁体，所述内磁体附接至所述轴杆的下部分而接近所述轴杆的第二端，所述第二端与所述第一端相对，所述外磁体设置在所述内磁体周围以驱动所述内磁体的旋转。

7.如权利要求1至4的任一项所述的静电夹盘，进一步包括：

轴承组件，所述轴承组件设置于所述轴杆周围。

8.如权利要求7所述的静电夹盘，其中所述轴承组件电耦接至所述夹持电极，使得能通过所述轴承组件馈送电力，以提供电力给所述至少一个夹持电极。

9.如权利要求1至4的任一项所述的静电夹盘，进一步包括：

电感滤波器，所述电感滤波器设置在耦接至所述至少一个夹持电极的导体周围，以将与所述至少一个夹持电极的射频干扰减至最小。

10.如权利要求1至4的任一项所述的静电夹盘，进一步包括：

升降销组件，所述升降销组件包括多个升降销，所述多个升降销设置成能移动地穿过所述介电盘的所述支撑表面。

11.如权利要求10所述的静电夹盘，其中所述多个升降销的至少之一包括高温计以测量所述介电盘的温度。