[发明专利]检测装置、张网机

说明书

本发明提供一种检测装置、张网机，属于显示技术领域，其可解决现有的张网机的张网精度较低的问题。本发明的检测装置包括第一支撑件；一对激光枪，其分别设置在所述第一支撑件的两端；一对第一镜头，其分别设置在所述第一支撑件的两端；第二镜头，其与所述第一支撑件滑动连接，且位于所述第一支撑件的中间区域，用于对待进行张网的掩膜表面的图案位置信息进行检测；其中，所述第一镜头的倍数低于所述第二镜头的倍数。

技术领域

本发明属于显示技术领域，具体涉及一种检测装置、张网机。

背景技术

高精度金属掩膜10(Fine Metal Mask，FMM)模式是通过蒸镀方式将OLED材料按照预定程序蒸镀到低温多晶硅(Low Temperature Poly-silicon，LTPS)基板上，并利用FMM上的图形形成红、绿、蓝三种OLED器件。

其中，FMM制作完成后，需要利用张网机(FMM Tension)将FMM与掩膜框架贴合在一起，以形成掩膜10集成框架(Mask Frame Assembly，MFA)。具体的，如图1、图2所示，现有的张网机包括：高倍镜1(Charge Coupled Device，CCD)、低倍镜2、激光枪3等。高、低倍镜2通过测量FMM与掩膜框架的位置精度，以确保二者能够精准对位；激光枪3用于将精准对位后的FMM与掩膜框架焊接在一起，以此来完成将FMM与掩膜框架贴合在一起的工艺。

需要说明的是，目前，张网机是以高倍镜1为基准建立坐标系的，若要实现FMM与掩膜框架的精准对位，也即提升张网机的张网精度，则必须保证CCD的测量稳定性。然而，发明人发现：位于龙门架的左侧的CCD与低倍镜2、激光枪3共用一个基座，该种结构使得利用CCD进行对位的过程中，整个基座也会一起运动，如图3所示，在整个对位过程中，CCD较大范围的运动极易使得整个龙门架的重心发生偏移，从而导致张网机发生震动，很明显的，震动状态下的CCD测量精准度较低，也即无法实现提升张网机的张网精度的目的。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提供一种具有较高的检测精度的检测装置、张网机。

解决本发明技术问题所采用的技术方案是一种检测装置，包括：

第一支撑件；

一对激光枪，其分别设置在所述第一支撑件的两端；

一对第一镜头，其分别设置在所述第一支撑件的两端；

第二镜头，其与所述第一支撑件滑动连接，且位于所述第一支撑件的中间区域，用于对待进行张网的掩膜表面的图案位置信息进行检测；其中，

所述第一镜头的倍数低于所述第二镜头的倍数。

优选的是，还包括：第一基座，其与所述第二镜头固定连接；

所述第一支撑件上设置有第一导轨，所述第一基座与所述第一导轨滑动连接，以使所述第二镜头沿着所述第一支撑件所在方向移动。

优选的是，还包括：第一驱动单元，其与所述第一基座连接，用于驱动所述第一基座在所述第一导轨中滑动。

优选的是，所述第一驱动单元包括马达。

优选的是，还包括：一对第二基座，其分别设置在所述第一支撑件的两端，且位于同一端的第一镜头与激光枪连接同一个第二基座；

所述第二基座与所述第一导轨滑动连接，以使所述第一镜头、激光枪沿着所述第一支撑件所在方向移动。

优选的是，还包括：第二支撑件、第三支撑件，所述第二支撑件和所述第三支撑件分别连接在所述第一支撑件的两相对侧，且所述第一支撑件能够在所述第二支撑件和所述第三支撑件上滑动。

优选的是，所述第二支撑件、第三支撑件上分别设置有第二导轨；