[发明专利]检测装置、张网机

权利要求书

1.一种检测装置，其特征在于，包括：

第一支撑件；

一对激光枪，其分别设置在所述第一支撑件的两端；

一对第一镜头，其分别设置在所述第一支撑件的两端；

第二镜头，其与所述第一支撑件滑动连接，且位于所述第一支撑件的中间区域，用于对待进行张网的掩膜表面的图案位置信息进行检测；其中，

所述第一镜头的倍数低于所述第二镜头的倍数。

2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，还包括：第一基座，其与所述第二镜头固定连接；

所述第一支撑件上设置有第一导轨，所述第一基座与所述第一导轨滑动连接，以使所述第二镜头沿着所述第一支撑件所在方向移动。

3.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，还包括：第一驱动单元，其与所述第一基座连接，用于驱动所述第一基座在所述第一导轨中滑动。

4.根据权利要求3所述的检测装置，其特征在于，所述第一驱动单元包括马达。

5.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，还包括：一对第二基座，其分别设置在所述第一支撑件的两端，且位于同一端的第一镜头与激光枪连接同一个第二基座；

所述第二基座与所述第一导轨滑动连接，以使所述第一镜头、激光枪沿着所述第一支撑件所在方向移动。

6.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，还包括：第二支撑件、第三支撑件，所述第二支撑件和所述第三支撑件分别连接在所述第一支撑件的两相对侧，且所述第一支撑件能够在所述第二支撑件和所述第三支撑件上滑动。

7.根据权利要求6所述的检测装置，其特征在于，所述第二支撑件、第三支撑件上分别设置有第二导轨；

所述第一支撑件包括滑动部件，所述滑动部件与所述第二导轨滑动连接，以使所述第二镜头沿垂直于所述第一支撑件所在方向移动。

8.根据权利要求7所述的检测装置，其特征在于，还包括：第二驱动单元，其与所述滑动部件连接，用于驱动所述滑动部件在所述第二导轨中移动。

9.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，沿垂直于所述第一支撑件所在方向，一对所述激光枪对称设置，一对所述第一镜头对称设置。

10.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述第一镜头与第一信号线电连接，所述第一信号线用于向所述第一镜头加载第一电信号，以驱动所述第一镜头对待进行张网的掩膜表面的图案位置信息进行检测；

所述第二镜头与第二信号线电连接，所述第二信号线用于向所述第二镜头加载第二电信号，以驱动所述第二镜头对待进行张网的掩膜表面的图案位置信息进行检测。

11.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述激光枪与激光光纤电连接；其中，

所述激光光纤用于加载光纤信号，以驱动所述激光枪对外定向发射激光。

12.一种张网机，其特征在于，包括权利要求1-11中任一所述的检测装置。