[发明专利]基板处理装置以及基板处理方法

说明书

提供能够使生产性提高的基板处理装置以及基板处理方法。实施方式的基板处理装置具备：作为交接台发挥功能的缓冲单元(14)，具有分开地支承基板(W)的第1载置台(14a1)以及第2载置台(14a2)；以及作为输送部发挥功能的第2输送机器人(15)，具有保持基板(W)的手部(31)，从缓冲单元(14)输送基板(W)。缓冲单元(14)形成为能够实现：手部(31)从第1载置台(14a1)的上位置朝向下位置向下方向移动，将第1载置台(14a1)置于基板(W)，移动到第1载置台(14a1)的下位置的手部(31)从第1载置台(14a1)的下位置向第2载置台(14a2)的下位置横向移动，移动到第2载置台(14a2)的下位置的手部(31)从第2载置台(14a2)的下位置朝向上位置向上方向移动，从第2载置台(14a2)抬起基板(W)。

技术领域

本发明的实施方式涉及基板处理装置以及基板处理方法。

背景技术

基板处理装置是在半导体、液晶面板等的制造工序中对晶片、液晶基板等基板进行处理的装置。在该基板处理装置中，从均匀性、再现性的角度出发，采用了将基板在专用的处理室逐张进行处理的单张处理方式。另外，为了实现基板输送系统的共用化，基板被收纳于共用的专用箱(例如，FOUP等)而进行输送。在该专用箱中，基板以规定间隔层叠而被收纳。

在基板处理装置中，使用输送机器人等基板输送装置，从专用箱取出基板并输送至处理室，然后，处理结束的基板被收纳于专用箱。此时，基板处理的种类并不限定于一个种类，也存在多种处理工序在每个种类的专用的处理室中进行之后，处理结束的基板被返回到专用箱的情况。

输送机器人在专用箱、处理室、以及它们的中途的缓冲间等中，进行将处理结束的基板与未处理的基板交换的动作。该输送机器人在进行基板交换的情况下，有时用一个臂使一个手部移动来进行基板交换。

通常，缓冲间是使基板W在上下方向上层叠地收纳的类型。因此，输送机器人使臂伸缩，利用手部将处理结束的基板置于缓冲间内，然后，使手部移动到新的位置，之后再次使臂伸缩，将未处理的基板从缓冲间内取出。因此，在一次基板交换换时，手部的出入(伸缩动作)被进行两次。因此，基板输送效率较差，基板处理装置的生产性降低。

发明内容

本发明所要解决的课题在于，提供能够使生产性提高的基板处理装置以及基板处理方法。

实施方式的基板处理装置具备：交接台，具有单独地支承基板第1载置台以及第2载置台；以及输送部，具有保持基板的手部，在与交接台之间交换基板而输送基板，交接台形成为能够实现：手部从第1载置台的上位置朝向下位置向下方向移动，将基板置于第1载置台，移动到第1载置台的下位置的手部从第1载置台的下位置向第2载置台的下位置横向移动，移动到第2载置台的下位置的手部从第2载置台的下位置朝向上位置向上方向移动，从第2载置台抬起基板。

实施方式的基板处理方法利用基板处理装置处理基板，该基板处理装置具备：交接台，具有单独地支承基板的第1载置台以及第2载置台；以及输送部，具有保持基板的手部，其中，基板处理方法具有如下工序：手部从第1载置台的上位置朝向下位置向下方向移动而将基板置于第1载置台；移动到第1载置台的下位置的手部从第1载置台的下位置向第2载置台的下位置横向移动；以及移动到第2载置台的下位置的手部从第2载置台的下位置朝向上位置向上方向移动而从第2载置台抬起基板。

根据前述的实施方式的基板处理装置或者基板处理方法，能够使生产性提高。

附图说明

图1是表示第1实施方式的基板处理装置的概略结构的俯视图。

图2是表示第1实施方式的缓冲单元、第1输送机器人以及第1移动机构的立体图。

图3是表示第1实施方式的缓冲单元、第2输送机器人以及第2移动机构的立体图。

图4是表示第1实施方式的缓冲单元的立体图。