[发明专利]薄膜输送装置

说明书

本发明所公开的薄膜输送装置用于输送安放在基板的薄膜。该薄膜输送装置的特征在于，包括：第一输送部，其固定薄膜的一侧端，并用已设定的力拉薄膜；以及第二输送部，其固定薄膜的另一侧端，向与所述第一输送部相反的方向施加力而调节形成于薄膜的张力。

技术领域

本发明涉及薄膜输送时吸附并夹紧薄膜而以薄膜不受损的方式输送薄膜的薄膜输送装置。

背景技术

在此部分(section)中所述的内容仅为本实施例提供背景信息，并不构成现有技术。

薄膜(film)或片材(Sheet)等的柔性材料广泛应用于包装材料、电子部件等中。例如，柔性电路基板(FPCB,Flexible Printed Circuit Board)是在薄的绝缘薄膜上涂覆像铜箔那样的导电层并在相应的导电层形成微细的电路图案而制成的。由这种方法制成的柔性电路基板会发生电路图案不良等问题，因此有必要进行精密的可靠性检测。

通常，对柔性材料的自动光学检测(AOI，Automated Optical Inspection)以如下方式进行：即，连续接受以卷筒(Roll)状提供的柔性材料，并利用图像处理装置等的检测单元而检测表面状态后搬送。在此情况下，为了柔性材料的供给及搬送而需要输送装置。

以往，作为输送柔性材料的方式主要使用如下方式：即，在薄膜或片材等的柔性材料的边缘以规定的间距形成槽，并将这些槽与齿轮等的输送单元咬合而输送。但是，这种方式需要用于在柔性材料上形成槽的额外的加工工序，并且输送过程中柔性材料本身受损的风险高，因此存在难以进行精密检测的问题。

最近，为了弥补这种齿轮咬合的方式所具有的局限性，开发出以真空吸附方式输送薄膜的方法。

图1为示出以往的薄膜输送装置的图。

如图1所示，以往的薄膜输送装置100利用设置在底座120的上部的多个吸附式夹钳(gripper)110而以真空吸附方式输送薄膜。吸附式夹钳110由形成有多个孔114的本体112和具有排气空间的垫子(pad，未图示)构成。孔114和排气空间相连通，孔114能够与真空喷射泵(Ejector Pump，未图示)连接。在垫子与对象物接触的状态下高速的压缩空气通过真空泵时，垫子内的空气被引导而经过本体及软管(hose)，并与压缩空气一同排出至真空泵的外部。此时，垫子内产生负压，并因这个负压而对象物吸持(Gripping)于垫子上。

但是，以往的薄膜输送装置100仅依赖于真空附着方式而将薄膜附着在装置上，因此作为柔性材料的薄膜的中间部分因张力而向下方弯曲。因此，在输送过程中会发生别的设备和薄膜冲突或接触的问题。此外，在输送地点及输送结束地点振动有可能施加于薄膜，此时，依赖负压而吸附在吸附式夹钳110上的薄膜会从吸附式夹钳110上脱落，从而薄膜的表面会受损严重。

在将如此受损的薄膜输送而进行检测或测量的情况下，检测结果的可信度会降低，并且难以实施精密测量而在检测出不良品方面受限。

发明内容

(发明所要解决的问题)

本发明的一个实施例的目的在于，提供将薄膜稳定地固定于装置上的同时，使因张力而下垂或弯曲的现象最小化，并将薄膜输送至检测装置的薄膜输送装置。

(解决问题所采用的措施)

本发明提供一种薄膜输送装置，其用于输送安放在基板的薄膜，该薄膜输送装置包括：第一输送部，其固定薄膜的一侧端，并用已设定的力拉薄膜；以及第二输送部，其固定薄膜的另一侧端，并向与所述第一输送部相反的方向施加力而调节形成于薄膜的张力。

此外，根据本发明的一个侧面，所述第一输送部具备多个吸附单元而固定所述薄膜的一侧端。

此外，根据本发明的一个侧面，所述第一输送部具备多个固定单元而固定所述薄膜的一侧端。