[发明专利]薄膜输送装置

权利要求书

1.一种薄膜输送装置，用于输送安放在基板的薄膜，其特征在于，包括：

第一输送部，其包括第一吸附单元、第一固定单元及第二移动单元，利用所述第一吸附单元及所述第一固定单元来固定薄膜的一侧端，并利用所述第二移动单元来用已设定的力拉薄膜；以及

第二输送部，其包括第二吸附单元、第二固定单元及张力调节单元，利用所述第二吸附单元及所述第二固定单元来固定薄膜的另一侧端，并利用由弹性部件构成的所述张力调节单元来向与所述第一输送部相反的方向施加力而调节形成于薄膜的张力，

所述第一输送部利用所述第一吸附单元而吸附所述薄膜的一侧端的下部面，同时用所述第一固定单元夹紧所述薄膜的一侧端的上部面，据此将安放于基板的所述薄膜的一侧端牢牢固定，

所述第二输送部利用所述第二吸附单元而吸附所述薄膜的另一侧端的下部面，同时用所述第二固定单元夹紧所述薄膜的另一侧端的上部面，据此将安放于基板的所述薄膜的另一侧端牢牢固定。

2.根据权利要求1所述的薄膜输送装置，其特征在于，

所述第一输送部具备多个所述第一吸附单元而固定所述薄膜的一侧端。

3.根据权利要求1所述的薄膜输送装置，其特征在于，

所述第一输送部具备多个所述第一固定单元而固定所述薄膜的一侧端。

4.根据权利要求1所述的薄膜输送装置，其特征在于，

所述第一输送部具备包括移动部件的第一移动单元，所述第一移动单元从动力提供装置获得动力而使所述第一输送部向已设定的方向移动。

5.根据权利要求1所述的薄膜输送装置，其特征在于，

所述第二输送部具备多个所述第二吸附单元而固定所述薄膜的另一侧端。

6.根据权利要求1所述的薄膜输送装置，其特征在于，

所述第二输送部具备多个所述第二固定单元而固定所述薄膜的另一侧端。

7.根据权利要求1所述的薄膜输送装置，其特征在于，

所述第二输送部具备包括移动部件的第一移动单元，所述第一移动单元从动力提供装置获得动力而使所述第二输送部向已设定的方向移动。

8.根据权利要求1所述的薄膜输送装置，其特征在于，

所述薄膜输送装置还包括第一吸附部，所述第一吸附部结合于所述第一输送部及所述第二输送部的一侧端并吸附薄膜的上端。

9.根据权利要求1所述的薄膜输送装置，其特征在于，

所述薄膜输送装置还包括第二吸附部，所述第二吸附部结合于所述第一输送部及所述第二输送部的另一侧端并吸附薄膜的下端。