[发明专利]电润湿装置及电润湿装置的制造方法

说明书

本发明提供一种两基板间的密合性优异的电润湿装置及电润湿装置的制造方法。电润湿装置(100)包含：有源基板(14)，其具备：第一基板(1)、第一电极层(2)、电介质层(3)及第一防水层(4)；及共用电极基板(15)，其具备：第二基板(8)、第二电极层(7)及第二防水层(6)，所述有源基板与所述共用电极基板经由配置于密封区域的密封材料(5)具有间隙地粘合，其中，所述电介质层及所述第二电极层中的至少一方在其层上，除形成有所述防水层的防水层形成区域以外还具有防水层非形成区域(11、12)，所述密封区域形成为俯视观察时至少一部分与所述防水层非形成区域重叠，且所述间隙为10～500μm的范围。

技术领域

本公开涉及一种电润湿装置及电润湿装置的制造方法。

背景技术

在微流体工学等领域，需要例如亚微升这样的小规模的流体的操作及准确的控制。因此，通过施加电场对液滴进行操作的电润湿技术受到关注。

电润湿是指，通过对设置于电极上的、实施了疏水处理(防水处理)的电介质层上放置的液滴施加电压，使电介质层的表面能量变化与形成在电极与液滴之间的电容器的静电能量对应的量，由此使固液界面能量发生变化，液滴相对于介电体层表面的接触角发生变化的现象。

近年来，正在开发利用了这样的电润湿的电润湿装置(还称为微小流体装置或者液滴装置)。

例如，专利文献1中记载了作为电润湿装置的一个示例的、利用了电润湿的图像显示装置。

在利用了该电润湿的图像显示装置中，通过将下侧基板上的疏水性绝缘膜与上侧基板上的电极层经由密封材料而具有间隙(单元间隙)地相互粘合，由此实现在显示面板的内侧，所述疏水性绝缘膜与所述电极层面对面的显示面板。

另一方面，作为经由密封材料将两张基板粘合的技术，例如专利文献2中记载了一种以隔着液相层的方式经由密封材料将两张基板粘合而成的液晶显示装置，其中，通过在基板上设置相对于密封材料的表面张力不同的垂直取向膜和ITO膜，来防止密封材料的流出并改善其直线性。

然而，液晶显示装置在略微几μ级的间隙内封入有液相分子。为了防止密封材料向这样的细微的间隙内流出而对基板进行粘合的技术，无法应用于具有几十～几百μm级的间隙并将基板粘合起来的电润湿装置。

现有技术文献

非专利文件

专利文献1：日本特开2014-52561号公报(2014年3月20日公开)

专利文献2：日本特开2008-52048号公报(2008年3月6日公开)

发明内容

本发明所要解决的技术问题

在电润湿装置中，形成于基板表面的疏水性绝缘膜等防水层，由为了操作液滴而可发挥优异的防水性的特定的材料构成，材料选择性受到限制。因此，用于形成防水层的工艺也受到限定。例如，在液晶显示装置中用于形成取向膜的印刷涂布法等，难以应用于形成电润湿装置的防水层。针对防水层的形成，在当前状态下，采用对基板表面均匀地涂布材料的浸涂法等涂布方法。

然而，像专利文献1所述的电润湿装置那样，当在基板上均匀地形成有防水层时，会产生几个问题。

图7为用于说明在基板上均匀地形成有防水层的现有的电润湿装置的问题点的图。

图7所示的电润湿装置100V包含：包含第一基板1的有源基板、包含第二基板8的共用电极基板、及对它们进行粘合的密封材料5。

有源基板具备：第一基板1；形成于第一基板1上的薄膜晶体管形成层9；形成于薄膜晶体管形成层9上的、由与薄膜晶体管的漏电极电连接的第一电极构成的第一电极层2；以覆盖第一电极层2的方式形成的电介质层3；及表面张力比电介质层3小且均匀地形成于电介质层3的表面的第一防水层4。