[发明专利]一种SI测试探台装置

权利要求书

1.一种SI测试探台装置，其特征在于，包括：

底座；

第一探针；

第一调节机构，连接在所述底座与所述第一探针之间，以用于调节所述第一探针与所述底座的竖直方向上的相对位置；

压力传感器，用于检测所述第一探针探头压力值。

2.根据权利要求1所述的SI测试探台装置，其特征在于，还包括第二调节机构，所述第二调节机构连接在所述底座与所述第一探针之间，以用于调节所述第一探针与所述底座的水平方向上的相对位置。

3.根据权利要求2所述的SI测试探台装置，其特征在于，所述第二调节机构包括相对所述底座能够绕竖直方向延伸轴线转动的旋转柱和一端与所述旋转柱连接且两端沿水平方向距离可调节的横向调节组件，所述第一探针安装在所述横向调节组件的另一端。

4.根据权利要求3所述的SI测试探台装置，其特征在于，所述横向调节组件包括一端与所述旋转柱绕第一转轴转动连接的第一转臂和一端与所述第一转臂另一端绕第二转轴转动连接的第二转臂，所述第一转轴与所述第二转轴均水平设置，且与所述第一转臂和所述第二转臂均垂直设置。

5.根据权利要求4所述的SI测试探台装置，其特征在于，所述第一调节机构设置在所述第二调节机构与所述第一探针之间。

6.根据权利要求1所述的SI测试探台装置，其特征在于，还包括用于在所述压力传感器测量值超出预定范围时发出报警信号的报警装置。

7.根据权利要求6所述的SI测试探台装置，其特征在于，所述报警装置为报警灯，所述报警灯在所述压力传感器监测到的压力值大于第一预定压力值时进行快闪烁，而在所述压力传感器监测到的压力值小于第二预定压力值时进行慢闪烁，而在所述压力传感器监测到的压力值位于第一预定压力值和所述第二预定压力值之间时常亮，所述快闪烁的闪烁频率大于所述慢闪烁的闪烁频率。

8.根据权利要求2-7任一项所述的SI测试探台装置，其特征在于，所述第一调节机构包括设置在所述第二调节机构调节端且与所述第一探针上部沿竖直方向滑动连接的固定座和用于对所述固定座与所述第一探针锁紧的锁紧螺钉。

9.根据权利要求8所述的SI测试探台装置，其特征在于，所述固定座设置有与所述第一探针的针柄滑动配合的滑孔，所述锁紧螺钉与所述固定座螺纹连接以使尾部能够与所述第一探针的针柄相抵，以阻止所述第一探针上下滑动。

10.根据权利要求9所述的SI测试探台装置，其特征在于，还包括第二探针、安装在所述第一探针针柄上且能够水平方向进行伸缩的伸缩调节机构和连接在所述第二探针与所述伸缩调节机构之间以调节所述第二探针探头上下高度的角度调节模块。

11.根据权利要求10所述的SI测试探台装置，其特征在于，所述滑孔为圆柱孔以使所述第一探针能够绕所述滑孔的轴线以相对所述滑孔转动。

12.根据权利要求9所述的SI测试探台装置，其特征在于，包括两个所述第一探针。