[发明专利]显示面板及其制作方法有效
申请号: | 201811107960.2 | 申请日: | 2018-09-21 |
公开(公告)号: | CN109378326B | 公开(公告)日: | 2023-05-30 |
发明(设计)人: | 肖辉;任章淳 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H10K59/121 | 分类号: | H10K59/121;H01L23/64 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 何志军 |
地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 显示 面板 及其 制作方法 | ||
本申请提出了一种显示面板及其制作方法,所述显示面板阵列基板,所述阵列基板包括基板及位于所述基板上的存储电容;所述存储电容包括位于所述基板上的第一电极、位于所述第一电极上的第一绝缘层、位于所述第一绝缘层上的第二电极、位于所述第二电极上的第二绝缘层、及位于所述第二绝缘层上的第三电极;其中,所述第二电极在所述第二绝缘层上的正投影位于所述第二绝缘层上。本申请通过在存储电容区以有源层作为第二电极,并在所述第二电极与所述第三电极之间设置一高静电力常数的绝缘层,增加了存储电容的电容量,提高了显示面板的显示效果。
技术领域
本申请涉及显示领域,特别涉及一种显示面板及其制作方法。
背景技术
在平板显示技术中,有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode,OLED)显示器具有轻薄、主动发光、响应速度快、可视角大、色域宽、亮度高和功耗低等众多优点,逐渐成为继液晶显示器后的第三代显示技术。
随着显示面板的发展,现有显示面板中的存储电容无法满足高解析度显示面板的需求,降低了显示面板的显示效果。
因此,目前亟需一种显示面板以解决上述问题。
发明内容
本申请提供一种显示面板及其制作方法,以解决现有显示面板存储电容较低的技术问题。
为解决上述问题,本申请提供的技术方案如下:
本申请提供了一种显示面板,包括阵列基板,其中,所述阵列基板包括基板、及位于所述基板上的薄膜晶体管单元和存储电容;
所述存储电容包括位于所述基板上的第一电极、位于所述第一电极上的第一绝缘层、位于所述第一绝缘层上的第二电极、位于所述第二电极上的第二绝缘层、及位于所述第二绝缘层上的第三电极;
其中,所述第二电极在所述第二绝缘层上的正投影位于所述第二绝缘层上。
在本申请的显示面板中,所述第二电极在所述基板上的正投影面积,与所述第二绝缘层在所述基板上的正投影面积相等;或
所述第二电极在所述基板上的正投影面积,小于所述第二绝缘层在所述基板上的正投影面积。
在本申请的显示面板中,所述第二绝缘层包括三氧化二铝。
在本申请的显示面板中,所述薄膜晶体管单元包括:
位于所述基板上的遮光层、位于所述遮光层上的缓冲层、位于所述缓冲层上的有源层、位于所述有源层上的栅绝缘层、位于所述栅绝缘层上的栅极层、位于所述栅极层上的间绝缘层、位于所述间绝缘层上的源漏极层、及位于所述源漏极层上的钝化层;
其中,所述第一电极与所述遮光层同层设置;
所述第一绝缘层与所述缓冲层同层设置;
所述第二电极与所述有源层同层设置;
所述第三电极与所述栅极层同层设置;或
所述第三电极与所述源漏极层同层设置。
在本申请的显示面板中,所述存储电容还包括第四电极;
其中,所述第三电极与所述栅极层同层设置时,所述四电极与所述源漏极层同层设置。
本申请还提出了一种显示面板的制作方法,其包括:
提供一基板;
在所述基板上形成薄膜晶体管单元和存储电容;
在所述薄膜晶体管单元及所述存储电容上形成有机发光层;
其中,所述存储电容包括在所述基板上依次堆叠的第一电极、第一绝缘层、第二电极、第二绝缘层、及第三电极,
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