[发明专利]显示面板及其制作方法有效
| 申请号： | 201811107960.2 | 申请日： | 2018-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN109378326B | 公开（公告）日： | 2023-05-30 |
| 发明（设计）人： | 肖辉;任章淳 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | H10K59/121 | 分类号： | H10K59/121;H01L23/64 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 何志军 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 显示 面板 及其 制作方法 | ||
1.一种显示面板，包括阵列基板，其特征在于，所述阵列基板包括基板、及位于所述基板上的薄膜晶体管单元和存储电容；
所述存储电容包括位于所述基板上的第一电极、位于所述第一电极上的第一绝缘层、位于所述第一绝缘层上的第二电极、位于所述第二电极上的第二绝缘层、及位于所述第二绝缘层上的第三电极，所述第二电极在所述第二绝缘层上的正投影位于所述第二绝缘层上；
其中，所述阵列基板还包括设置于所述第一绝缘层上的间绝缘层，位于所述第一绝缘层上的所述间绝缘层的厚度小于所述第二电极的厚度，所述第二电极在所述基板上的正投影面积小于所述第二绝缘层在所述基板上的正投影面积，所述第二绝缘层和所述间绝缘层接触。
2.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述第二绝缘层包括三氧化二铝。
3.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述薄膜晶体管单元包括：
位于所述基板上的遮光层、位于所述遮光层上的缓冲层、位于所述缓冲层上的有源层、位于所述有源层上的栅绝缘层、位于所述栅绝缘层上的栅极层、位于所述栅极层上的间绝缘层、位于所述间绝缘层上的源漏极层、及位于所述源漏极层上的钝化层；
其中，所述第一电极与所述遮光层同层设置；
所述第一绝缘层与所述缓冲层同层设置；
所述第二电极与所述有源层同层设置；
所述第三电极与所述栅极层同层设置；或
所述第三电极与所述源漏极层同层设置。
4.根据权利要求3所述的显示面板，其特征在于，所述存储电容还包括第四电极；
其中，所述第三电极与所述栅极层同层设置时，所述第四电极与所述源漏极层同层设置。
5.一种显示面板的制作方法，其特征在于，包括：
提供一基板；
在所述基板上形成薄膜晶体管单元和存储电容；
在所述薄膜晶体管单元及所述存储电容上形成有机发光层；
其中，所述存储电容包括在所述基板上依次堆叠的第一电极、第一绝缘层、第二电极、第二绝缘层、及第三电极，
所述第二电极在所述第二绝缘层上的正投影位于所述第二绝缘层上；
其中，阵列基板还包括设置于所述第一绝缘层上的间绝缘层，位于所述第一绝缘层上的所述间绝缘层的厚度小于所述第二电极的厚度，所述第二电极在所述基板上的正投影面积，小于所述第二绝缘层在所述基板上的正投影面积，所述第二绝缘层和所述间绝缘层接触。
6.根据权利要求5所述的制作方法，其特征在于，所述第二绝缘层包括三氧化二铝。
7.根据权利要求5所述的制作方法，其特征在于，所述显示面板还包括薄膜晶体管单元；
其中，所述薄膜晶体管单元包括位于所述基板上的遮光层、位于所述遮光层上的缓冲层、位于所述缓冲层上的有源层、位于所述有源层上的栅绝缘层、位于所述栅绝缘层上的栅极层、位于所述栅极层上的间绝缘层、位于所述间绝缘层上的源漏极层、及位于所述源漏极层上的钝化层；
其中，所述第一电极与所述遮光层同层设置；
所述第一绝缘层与所述缓冲层同层设置；
所述第二电极与所述有源层同层设置；
所述第三电极与所述栅极层同层设置；或
所述第三电极与所述源漏极层同层设置。
8.根据权利要求7所述的制作方法，其特征在于，所述存储电容还包括第四电极；
其中，所述第三电极与所述栅极层同层设置时，所述第四电极与所述源漏极层同层设置。
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