[发明专利]抗瞬变喷头

权利要求书

1.一种抗瞬变喷头，其包括：

第一气体入口；

第一表面，其中所述第一气体入口被配置为输送第一处理气体通过所述第一表面；

多个第一气体分配端口；

第二表面，其中所述多个第一气体分配端口被配置成输送所述第一处理气体通过所述第二表面；

第三表面，其置于所述第一表面和第二表面之间；

第四表面，其置于所述第三表面和第二表面之间；

多个第一凸台，所述多个第一凸台从所述第二表面朝向所述第四表面向上延伸；

多个第一气流通道，其置于所述第一表面和所述第三表面之间，和

穿过所述第四表面的多个第一孔，其中：

所述第一表面和所述第三表面至少部分地限定与所述第一气体入口流体连接的第一入口充气室容积空间，

所述第二表面和所述第四表面至少部分地限定与所述多个第一气体分配端口中的每个第一气体分配端口流体连接的第一气体分配充气室容积空间，

所述多个第一气流通道中的每个第一气流通道具有与所述第一入口充气室容积空间流体连接的相应的第一端和通过所述多个第一孔中的相应的第一孔与所述第一气体分配充气室容积空间流体连接的相应的第二端，以及

所述多个第一凸台中的每个第一凸台居中于所述多个第一孔中的相应的第一孔上并且具有面对所述第四表面的相应的顶表面，所述顶表面从所述第四表面偏移相应的第一距离，

所述多个第一气流通道中的每个第一气流通道具有其它第一气流通道的长度±30％内的长度，在所述第一端延伸远离所述第一入口充气室容积空间，并且包括介于所述第一端和所述第二端之间的在140°和200°之间的弯曲，使得所述第一气流通道的所述第二端朝向所述第一入口充气室容积空间定位，

所述多个第一孔中的每个第一孔具有介于1.5mm和3mm之间的直径，并且

所述多个第一凸台中的每一个第一凸台具有介于5mm和8mm之间的直径。

2.根据权利要求1所述的抗瞬变喷头，其中：

所述多个第一凸台中的相应的第一凸台的每个相应的第一距离介于0.025mm和1.2mm之间。

3.根据权利要求1所述的抗瞬变喷头，其中：

每个第一孔具有孔直径，并且

每个相应的第一距离小于介于所述多个第一凸台中的相应的第一凸台的标称台直径和相应的孔直径之间的差的2倍并且大于介于所述多个第一凸台中的相应的第一凸台的所述标称台直径和相应的孔直径之间的差的0.2倍。

4.根据权利要求1所述的抗瞬变喷头，其中，所述多个第一凸台中的每一个第一凸台具有介于5mm和8mm之间的标称直径。

5.根据权利要求1所述的抗瞬变喷头，其中所述多个第一凸台中的每个第一凸台具有标称直径和介于所述相应的标称直径的1/11和1/13之间的相应的第一距离。

6.根据权利要求1所述的抗瞬变喷头，其中所述多个第一气体分配端口中的第一气体分配端口的不同子集与所述多个第一凸台中的每个第一凸台相邻，并且所述多个第一凸台中的每个第一凸台居中于所述多个第一气体分配端口中的所述第一气体分配端口的所述不同子集的相应的子集的第一气体分配端口之间。

7.根据权利要求1所述的抗瞬变喷头，其还包括多个第一支撑柱，其中，所述多个第一支撑柱中的每个第一支撑柱跨于所述第二表面与所述第四表面之间。

8.根据权利要求1所述的抗瞬变喷头，其还包括多个第一半岛，其中：

所述第一入口充气室容积空间具有第一中心点，

所述多个第一半岛中的每个第一半岛伸入所述第一入口充气室容积空间内，和

所述多个第一气流通道中的第一气流通道中的一个或多个的所述第二端延伸到所述多个第一半岛中的相应的第一半岛中并且比所述多个第一气流通道中的相应的第一气流通道的相应的第一端更接近所述第一中心点。