[发明专利]吸盘及其工作方法有效
申请号: | 201811095826.5 | 申请日: | 2018-09-19 |
公开(公告)号: | CN109585353B | 公开(公告)日: | 2022-02-01 |
发明(设计)人: | 陈鲁;张朝前;马砚忠 | 申请(专利权)人: | 深圳中科飞测科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683 |
代理公司: | 上海知锦知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31327 | 代理人: | 高静 |
地址: | 518110 广东省深圳市龙华区大浪街*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 吸盘 及其 工作 方法 | ||
1.一种吸盘,其特征在于,包括:
盘体,所述盘体包括吸附面,所述吸附面用于吸附待吸附物,所述吸附面包括第一区和第二区;
位于所述盘体第一区和第二区中的沟槽;
位于所述盘体中的管道,所述第一区和第二区的沟槽通过所述管道相互贯通;
位于所述盘体中的阀门,所述阀门控制所述管道的导通与断开,所述阀门包括:活塞杆和弹性结构,所述活塞杆包括第一杆区和第二杆区;当所述活塞杆顶部具有待吸附物时,弹性结构受到待吸附物的压力作用发生变形,使第二杆区位于所述阀门两侧的管道之间,所述第二杆区连通所述活塞杆两侧的管道;若所述活塞杆顶端不具有待吸附物,所述第一杆区位于所述阀门两侧的管道之间,所述第一杆区断开所述管道;所述阀门用于根据待吸附物的位置自动调节所述阀门的开启和关断,调节阀门并将所述待吸附物放置于预设位置之后,使吸盘吸附待吸附物;
真空装置,通过所述管道与所述第一区沟槽连通,用于对所述第一区沟槽和第二区沟槽进行抽真空处理。
2.如权利要求1所述的吸盘,其特征在于,所述吸盘体中具有容纳槽,所述容纳槽自所述吸附面贯穿至所述管道远离吸附面一侧的盘体中,所述阀门位于所述容纳槽中;
所述阀门还包括:位于所述容纳槽中的弹性结构;所述活塞杆位于所述弹性结构顶部,当所述活塞杆顶部不具有待吸附物时,所述活塞杆顶部表面凸出于所述吸附面;所述第一杆区位于所述第二杆区和弹性结构之间。
3.如权利要求2所述的吸盘,其特征在于,所述弹性结构为弹簧或弹性塑料。
4.如权利要求2所述的吸盘,其特征在于,所述活塞杆第二杆区平行于吸附面的横截面积小于活塞杆第一杆区平行于吸附面的横截面积;
或者,所述活塞杆第二杆区中具有杆孔,当所述活塞杆顶部具有待吸附物时,所述杆孔使所述阀门两侧的管道导通。
5.如权利要求2所述的吸盘,其特征在于,所述阀门还包括:位于所述容纳槽中的活塞缸,所述弹性结构位于所述活塞缸中,所述活塞杆部分位于所述活塞缸中,所述活塞缸侧壁中具有贯穿活塞缸侧壁的第一通孔和第二通孔,所述第一通孔和第二通孔分别与所述活塞缸两侧的管道连通。
6.如权利要求5所述的吸盘,其特征在于,所述第一通孔的个数为多个;所述第二通孔的个数为多个;所述第一杆区和第二杆区的个数为多个,所述第一杆区和第二杆区交替排列。
7.如权利要求6所述的吸盘,其特征在于,相邻第二区之间的距离等于相邻第一通孔之间的距离,且相邻第二区之间的距离等于相邻第二通孔之间的距离;垂直于所述吸附面方向上,所述第一通孔的尺寸等于所述第二区的尺寸,且所述第二通孔的尺寸等于所述第二区的尺寸。
8.如权利要求7所述的吸盘,其特征在于,所述活塞杆顶部与吸附面之间的距离等于相邻第一区和第二区中心之间的距离。
9.如权利要求5所述的吸盘,其特征在于,所述活塞缸中具有第一凹槽和第二凹槽,所述第一通孔位于所述第一凹槽底部,所述第二通孔位于所述第二凹槽底部。
10.如权利要求9所述的吸盘,其特征在于,在沿垂直于所述吸附面的方向上,所述第一凹槽的尺寸大于或等于所述管道的尺寸,所述第二凹槽的尺寸大于或等于所述管道的尺寸。
11.如权利要求5所述的吸盘,其特征在于,所述盘体还包括与所述吸附面相对的背面,所述容纳槽自所述吸附面贯穿至所述背面;所述阀门还包括:连接所述活塞缸和所述盘体背面的底座。
12.如权利要求1所述的吸盘,其特征在于,所述阀门的个数为多个,多个阀门围绕所述盘体中心均匀分布;所述管道的个数为多个,且多个管道相互连通。
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