[发明专利]一种除静电装置及除静电方法

说明书

本发明实施例公开了一种除静电装置及除静电方法。其中，除静电装置包括：工作台，用于放置基板；多个分离机构，用于将所述基板与所述工作台分离；控制器，与所述多个分离机构电连接，用于在将所述基板与所述工作台分离的过程中，控制所述多个分离机构将所述基板的至少相对的两个边缘区域先于所述基板的中间区域与所述工作台分离；除电器，用于在所述基板与所述工作台分离的过程中，对所述基板率先与所述工作台分离的至少相对的两个边缘区域进行除静电处理。本发明实施例提供的技术方案，可解决现有除静电方法去除静电不彻底的问题。

技术领域

本发明实施例涉及显示技术领域，尤其涉及一种除静电装置及除静电方法。

背景技术

在半导体基板(以下简称“基板”)的制造工序中，利用基板制作装置对具有氧化膜等绝缘膜的基板进行各种加工处理，例如，光刻以及各膜层的涂布等处理。在对基板进行加工处理时，会产生静电，示例性的，在液晶显示面板面板制造工艺中，为使液晶定向排列，需要对固化后的配向膜进行摩擦配向处理，即通过贴附有摩擦布的滚筒与配向膜接触摩擦，在这种情况下不可避免的产生静电。并且在基板被搬送和传输的过程中，也会产生静电，更重要的是，将基板从工作台的真空卡盘上剥离会产生较大静电。

当基板带有静电时，具有吸附周围的微尘或者导致堆积在基板上的各种薄膜的绝缘破坏的缺陷，此外，当使用带有静电状态的基板来制作显示器时，因基板的电荷会使显示器的启动电压发生变化，从而发生改变显示器画面亮度的问题。

现有技术中，为了避免基板与工作台分离时产生的接触分离起电，采用斜向分离式方法将基板的一侧率先剥离，并通过除电器对率先剥离的一侧基板进行除静电处理，但是距离除电器较远的一侧则会因除电不彻底造成基板破片。

发明内容

本发明提供一种除静电装置及除静电方法，以解决现有除静电方法去除静电不彻底的问题。

第一方面，本发明实施例提供了一种除静电装置，包括：

工作台，用于放置基板；

多个分离机构，用于将所述基板与所述工作台分离；

控制器，与所述多个分离机构电连接，用于在将所述基板与所述工作台分离的过程中，控制所述多个分离机构将所述基板的至少相对的两个边缘区域先于所述基板的中间区域与所述工作台分离；

除电器，用于在所述基板与所述工作台分离的过程中，对所述基板率先与所述工作台分离的至少相对的两个边缘区域进行除静电处理。

可选的，所述多个分离机构为多个升降柱；所述多个升降柱，相对于所述工作台可升降并支撑所述基板；所述多个升降柱包括多个第一升降柱和多个第二升降柱；所述控制器，具体用于在所述基板抬离所述工作台的过程中，控制所述多个第一升降柱支撑所述基板的至少相对的两个边缘区域先于所述多个第二升降柱支撑所述基板的中间区域抬离所述工作台；所述除电器设置于所述第一升降柱所在工作台的边缘区域的外侧。

可选的，在所述基板抬离所述工作台的过程中，所述第二升降柱伸出所述工作台的承载面的时刻比所述第一升降柱伸出所述工作台的承载面的时刻延迟预设时间。

可选的，在所述基板抬离所述工作台的过程中，所述第一升降柱的抬升速度大于所述第二升降柱的抬升速度。

可选的，所述除电器用于对所述基板的至少相对的两个边缘区域发射X射线。

可选的，所述X射线为硬X射线。

可选的，所述除电器用于对所述基板的至少相对的两个边缘区域喷射带电离子。

第二方面，本发明实施例还提供了一种除静电方法，包括：

将基板置于工作台上；

将所述基板的至少相对的两个边缘区域先于所述基板的中间区域与所述工作台分离；