[发明专利]一种除静电装置及除静电方法在审
| 申请号： | 201811087276.2 | 申请日： | 2018-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN109068467A | 公开（公告）日： | 2018-12-21 |
| 发明（设计）人： | 徐小俊 | 申请（专利权）人： | 张家港康得新光电材料有限公司 |
| 主分类号： | H05F3/06 | 分类号： | H05F3/06;H05F3/04 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 215634 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基板 工作台 除静电 除静电装置 分离机构 边缘区域 中间区域 控制器 静电 除电器 电连接 去除 | ||
1.一种除静电装置，其特征在于，包括：
工作台，用于放置基板；
多个分离机构，用于将所述基板与所述工作台分离；
控制器，与所述多个分离机构电连接，用于在将所述基板与所述工作台分离的过程中，控制所述多个分离机构将所述基板的至少相对的两个边缘区域先于所述基板的中间区域与所述工作台分离；
除电器，用于在所述基板与所述工作台分离的过程中，对所述基板率先与所述工作台分离的至少相对的两个边缘区域进行除静电处理。
2.根据权利要求1所述的除静电装置，其特征在于：
所述多个分离机构为多个升降柱；所述多个升降柱，相对于所述工作台可升降并支撑所述基板；所述多个升降柱包括多个第一升降柱和多个第二升降柱；
所述控制器，具体用于在所述基板抬离所述工作台的过程中，控制所述多个第一升降柱支撑所述基板的至少相对的两个边缘区域先于所述多个第二升降柱支撑所述基板的中间区域抬离所述工作台；
所述除电器设置于所述第一升降柱所在工作台的边缘区域的外侧。
3.根据权利要求2所述的除静电装置，其特征在于：在所述基板抬离所述工作台的过程中，所述第二升降柱伸出所述工作台的承载面的时刻比所述第一升降柱伸出所述工作台的承载面的时刻延迟预设时间。
4.根据权利要求2所述的除静电装置，其特征在于：在所述基板抬离所述工作台的过程中，所述第一升降柱的抬升速度大于所述第二升降柱的抬升速度。
5.根据权利要求1所述的除静电装置，其特征在于：
所述除电器用于对所述基板的至少相对的两个边缘区域发射X射线。
6.根据权利要求1所述的除静电装置，其特征在于：
所述除电器用于对所述基板的至少相对的两个边缘区域喷射带电离子。
7.一种除静电方法，其特征在于，包括：
将基板置于工作台上；
将所述基板的至少相对的两个边缘区域先于所述基板的中间区域与所述工作台分离；
对所述基板率先与所述工作台分离的至少相对的两个边缘区域进行除静电处理。
8.根据权利要求7所述的除静电方法，其特征在于，将所述基板的至少相对的两个边缘区域先于所述基板的中间区域与所述工作台分离，包括：
相对于所述工作台升降支撑所述基板的至少相对的两个边缘区域先于所述基板的中间区域抬离所述工作台。
9.根据权利要求8所述的除静电方法，其特征在于，对所述基板进行除静电处理之后，还包括：
将所述基板的中间区域抬升至与所述至少相对的两个边缘区域相同的高度。
10.根据权利要求8所述的除静电方法，其特征在于，相对于所述工作台升降支撑所述基板的至少相对的两个边缘区域先于所述基板的中间区域抬离所述工作台包括：
所述基板的至少两个边缘区域抬离所述工作台的时刻比所述基板的中间区域抬离所述工作台的时刻延迟预设时间。
11.根据权利要求8所述的除静电方法，其特征在于，相对于所述工作台升降支撑所述基板的至少相对的两个边缘区域先于所述基板的中间区域抬离所述工作台包括：
所述基板的至少相对的两个边缘区域抬离所述工作台的抬升速度大于所述基板的中间区域抬离所述工作台的抬升速度。
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