[发明专利]微机电泵的制造方法

说明书

一种微机电泵的制造方法，包含以下步骤：(a)提供第一基板，将第一基板薄化至第一厚度；(b)于第一基板形成第一氧化层，且第一基板蚀刻出至少一进气孔；(c)提供第二基板，将第二基板薄化至第二厚度；(d)于第二基板形成第二氧化层，并于第二基板上蚀刻出穿孔；(e)将第二基板结合至第一基板，且第一氧化层位于第一基板与第二基板之间，进气孔与穿孔错位；(f)提供第三基板，将第三基板薄化至第三厚度，及于第三基板蚀刻出至少一气体通道；(g)于第三基板设置压电组件；(h)将第三基板结合至第二基板，且第二氧化层位于第二基板与第三基板之间，气体通道与穿孔错位。

【技术领域】

本案是关于一种微机电泵的制造方法，尤指一种通过半导体制程来制作微机电泵的制造方法。

【背景技术】

目前于各领域中无论是医药、电脑科技、打印、能源等工业，产品均朝精致化及微小化方向发展，其中微泵浦、喷雾器、喷墨头、工业打印装置等产品所包含的用以输送流体的泵构为其关键元件，是以，如何借创新结构突破其技术瓶颈，为发展的重要内容。

随着科技的日新月异，流体输送装置的应用上亦愈来愈多元化，举凡工业应用、生医应用、医疗保健、电子散热等等，甚至近来热门的穿戴式装置皆可见它的踪影，可见传统的泵已渐渐有朝向装置微小化、流量极大化的趋势。

然而，目前微型化的泵虽然持续地改良使其微小化，但仍旧无法突破毫米等级进而将泵缩小到微米等级，因此如何将泵缩小到微米等级并且将其完成为本案所欲发明的主要课题。

【发明内容】

本案的主要目的在于提供一种微机电泵的制造方法，用以制造一纳米等级的微机电泵，来减少体积对于泵的限制。

为达上述目的，本案的较广义实施态样为提供一种微机电泵的制造方法，包含以下步骤：

(a)提供一第一基板，将该第一基板薄化至一第一厚度；

(b)于该第一基板形成一第一氧化层，且该第一基板蚀刻出至少一进气孔；

(c)提供一第二基板，将该第二基板薄化至一第二厚度；

(d)于该第二基板形成一第二氧化层，并于该第二基板上蚀刻出一穿孔；

(e)将该第二基板结合至该第一基板，且该第一氧化层位于该第一基板与该第二基板之间，该进气孔与该穿孔错位；

(f)提供一第三基板，将该第三基板薄化至一第三厚度，及于该第三基板蚀刻出至少一气体通道；

(g)于该第三基板设置一压电组件；

(h)将该第三基板结合至该第二基板，且该第二氧化层位于该第二基板与该第三基板之间，该气体通道与该穿孔错位。

【附图说明】

图1为本案微机电泵的制造方法的流程示意图。

图2为本案微机电泵的剖面示意图。

图3为本案微机电泵的压电组件的制造流程图。

图4A至图4C为本案微机电泵的作动示意图。

图5为图2中本案微机电泵的第三基板俯视角度视得示意图。

【具体实施方式】

体现本案特征与优点的一些典型实施例将在后段的说明中详细叙述。应理解的是本案能够在不同的态样上具有各种的变化，其皆不脱离本案的范围，且其中的说明及图示在本质上当作说明之用，而非用以限制本案。